真空镀膜机扩散泵如何维修和保养？ 一：扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。 二：扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。 三：被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。 四：扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。 五：扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，淮安真空镀膜设备厂家，淮安真空镀膜设备厂家，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好，淮安真空镀膜设备厂家。随着技术的发展成熟，目前甚至可以在软性塑胶表面进行真空镀膜加工。淮安真空镀膜设备厂家

抽真空系统，目前基本是两种，一种是扩散泵系统，一种是分子泵系统，分子泵系统属于清洁抽气系统，没有扩散泵的返油现象，抽速也相对比较稳定，而且比较省电，电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的，特别是润滑油的定期更换，注意油品牌号的选择，选择错误很容易损坏真空泵。真空检测系统，目前基本都是用复合真空计，热偶规+电离规的组合，这个组合在遇到充入大量含有C元素的气体的工艺，电离规很容易毒化，造成电离规损坏，如果镀制含有大量C元素的气体的工艺，可以考虑，配置电容薄膜规。淮安真空镀膜设备厂家真空镀膜跟传统镀膜工艺相比，有很多优点。

观察真空离子镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况，每当电弧熄灭前，总是发现电弧弧斑极为粗糙。有时甚至出现堆团状弧斑。熄灭后观察靶面已发红，靶表面温度很高。粗糙弧斑的出现，使弧电流较集中于靶面一点，导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中，使弧斑下的靶面温度更高而产生大量的热电子发射。靶面局部大量的热电子发射的结果，一方面中和了大量的空间电荷，使阴极表面上的电场成为减速场，甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面，大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。结果既没有空间电荷产生的强大电场来维持表面发射，也不具备极高的表面温度来产生热电子发射，导致电弧的熄灭。所以在真空镀膜机多弧靶源的设计中，应注意给阴极靶以充分的冷却，好采用直接水冷，间接水冷时，阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料（如铜、铝等）

真空镀膜机机械泵介绍： 1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用普遍，本文主要介绍)四种类型。 2.机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积大，转速为n。PVD镀膜生产管理人员对操作工指导和监督不力,PVD镀膜使得故障在所难免。

使用磁控溅射的真空镀膜设备一般采用的是圆筒主体结构，结构上要保证快速抽空，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射，为了使真空室和元件有足够的强度，保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化，厚度需要足够。焊接是真空室制造中的一道关键工序，保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象，须合理设计焊接结构，提高焊接质量，处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁，须特别注意的是需做好防止生锈的措施。如PVD镀膜前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。淮安真空镀膜设备厂家

由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘。淮安真空镀膜设备厂家

真空镀膜技术，是一种材料合成加工技术，普遍应用在半导体电路、LED屏、触摸屏、显示屏行业，比如光学膜、感光膜、防护膜，刀具超硬膜、纳米材料功能性薄膜的生产，而全球制造业高速发展，带给真空镀膜行业极大的机遇和挑战。真空镀膜跟传统镀膜工艺相比，有很多优点：真空电场条件下，等离子体直接沉积在工件表面形成膜层，避免了电镀液的污染；还可让工艺处理温度控制在500度以内，适应多种基体材料；靶材种类多样，更适用于多种产品的镀膜。蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀是真空镀膜技术的三种形式，而基于三种技术的真空镀膜设备，是高质量、高性能膜层生成的关键。以磁控溅射镀膜设备为例，真空环境下，通过高压电、磁场，使充入的氩气呈现离子态，撞击靶材，使靶原子冲向基体，形成膜层。淮安真空镀膜设备厂家

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