PECVD工作原理是什么？PECVD技术是在低气压下，利用低bai温等离子体在工艺腔体的阴极du上（即zhi样品放置的托盘）产生辉光放电，东莞管式炉生产厂家，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，东莞管式炉生产厂家，较终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。在反应过程中，东莞管式炉生产厂家，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。 按照正确的操作步骤来使用真空管式炉，可以有效延长其使用寿命，减低设备故障率。东莞管式炉生产厂家

管式炉怎样实现程序控温？1、炉膛内材料的选择。选择耐火材料如氧化铝、耐火纤维和轻质砖做成的炉体是关键的一环，管式炉以硅钼棒、硅碳棒等电加热元件提供热源的温度控制设备采用可控硅温度控制器，炉况温度，炉温控制效果在实时性和控制精度方面有显着提高。2、计算机可操控多台管式炉。管式炉采用计算机控制后，一台计算机可以同时控制多台管式炉，不但实现了程序自动控制，管式炉而且可以多点温度显示记录存储和报警等功能，系统使触发电路等大部分部件互换，可以使传统的设备得到升级。这样设备管理工作实现自动化，管式炉对设备比较简单。浙江CVD管式炉高校**使用真空管式炉的操作：调整到机械零点。

管式炉采用先进技术，自行研制开发的高性能、高节能的新型电炉，采用节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温并使得内腔温度分布均匀，采用40段智能型程序控制器全过程自动控制温度，综合性能指标较高，处于国内水平。抗热震炉门上设有水平放置的钢玉管，刚玉管上可以放置被烧结物料做热震试验时吧重烧炉门打开，管式炉抗热震炉门推入炉内。做水冷试验时，被测物可以落入专门设置的具有循环水冷却的水箱内。可选择中文菜单操作界面，简单易懂，无纸记录历史数据和升温曲线。30段以上可编程控制，可随时设定冰储存6组工艺路线供随时调用，PIP参数优化整定功能，完好后PCD参数可储存。具有质量稳定可靠，炉温均匀，得到客户认可，特别是节约能源做了大量工作。设备由炉体、推进装置、电控柜等组成。

    立式管式炉的详细使用方法以及在使用的时候需要注意哪些?1、操作人员在使用立式管式炉之前，要具有相应的电气设备操作资格，并且还要熟悉立式管式炉随机的仪表说明书。用户开关板是给电炉送电的，这个之后程序表就有了电，然后根据温度仪表说明书来设定仪表，根据工艺的要求来编制加热程序，打开加热旋钮，让加热功率达到6千瓦。2、程序设定的温度不能高于电炉的参数温度；立式管式炉在工作的时候，不能打开炉门，在取出产品的时候，要等到炉温下降到100摄氏度以下才可以；立式管式炉在升温加热的时候，其加热功率不能超过6千瓦，否则的话会损坏加热元件。3、立式管式炉使用或长时间不用时，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂，炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬，禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛。                 对于管式炉这样的一种设备，在实际的这个过程中，为了节省成本，通常都需要使用到大量的炉衬。

立式真空管式炉的成套供应范围有温度控制器、热电偶、补偿导线等。温度控制有继电器控制、可控硅控制二种，由于是间歇式作业炉，一般都采用40段PlD可编程控制，能严格控制产品的烧制过程。立式真空管式炉配有石英管内胆，二边不锈钢法兰密封，密封法兰可随意装卸，用于物料进出，配有金属三通进气阀门和单通出气阀，及真空表（另有气体流量计和水冷却装置可选配）。仪器采用一体化制作，只需接通电源即可工作。炉胆采用超轻质材料，重量较轻，升温速度较快,速度可调。控制系统采用LTDE技术，全自动智能化控制，具有30段编程，输出功率百分比、斜率修正、自动恒温、自动关机，及保证某一点温度正确的PID功能。管式炉的使用注意事项：炉子初次使用或长时间不用的情况下，要在120℃左右烘烤1小时。广东真空管式炉厂家**

使用真空管式炉的操作：需要注意的是在热电偶和偶孔之间的缝隙要用石棉绳填塞，防止热量损失。东莞管式炉生产厂家

    立式管式炉的详细使用方法以及在使用的时候需要注意哪些?1、操作人员在使用立式管式炉之前，要具有相应的电气设备操作资格，并且还要熟悉立式管式炉随机的仪表说明书。用户开关板是给电炉送电的，这个之后程序表就有了电，然后根据温度仪表说明书来设定仪表，根据工艺的要求来编制加热程序，打开加热旋钮，让加热功率达到6千瓦。2、程序设定的温度不能高于电炉的参数温度；立式管式炉在工作的时候，不能打开炉门，在取出产品的时候，要等到炉温下降到100摄氏度以下才可以；立式管式炉在升温加热的时候，其加热功率不能超过6千瓦，否则的话会损坏加热元件。3、立式管式炉使用或长时间不用时，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂，炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬，禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛。     东莞管式炉生产厂家

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