管式炉是一种实验室设备,适用于金属，纳米，单晶硅,多晶硅,电池等的扩散焊接以及真空下的气体保护下，在真空或气氛状态下烧结各种新材料样品。采用先进技术，开发研制的节能环保电炉，管式炉有单管、双管、卧式、可开启式管式实验电炉。如要通各种气体也可以也可配备气体控制柜。管式炉适用于工矿企业、大专院校，科研院所及实验室作真空或气氛状态下烧结各种新材料样品用。真空气氛管式炉是一种先进实验设备，适用于金属，纳米，单晶硅，多晶硅，电池等的扩散焊接以及真空气体保护下，气氛热处理的加热设备。真空气氛炉主要用于材料试验、合成、烧结等。炉体保温性能良好，节能，气氛炉还可用于、复合材料、粉体材料、结构陶瓷，深圳真空箱式炉实验室**，深圳真空箱式炉实验室**，深圳真空箱式炉实验室**、合金的真空热压烧结。箱式气氛炉节能型的陶瓷纤维材料和双层外壳结构，具有升降温速度快，能耗低。深圳真空箱式炉实验室**
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。茂名箱式气氛炉用途管式炉的使用注意事项：禁止向炉膛内直接灌注各种溶解金属以及液体，需要保持炉内清洁。
管式炉均系采用先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内水平。炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料.
管式炉的分类：1.从管式炉的使用温度分，可分为：1800度管式炉，1600度管式炉，1400度管式炉，1700度管式炉等2.从管式炉使用的管子分，可分为：高温真空管式炉，立式真空管式炉，实验室管式炉等3.从管式炉炉体形态分，可分为：立式管式炉，卧式管式炉等4.管式炉还有单温区管式炉和多温区管式炉之分。5.一体式管式炉和分体式管式炉之分。6.旋转管式炉和普通管式炉之分。7.从管式炉使用的加热元件分，可分为：电炉丝管式炉，硅碳棒管式炉，硅钼棒管式炉等。提前预热真空管式炉是非常有必要的，不然真空管式炉的炉膛容易破损。
管式炉以进口电阻丝为发热元件，额定温度500℃，采用K型热电偶测温和温控仪分上下两部分自动控温，左侧电路控制下半部分加热元件，右侧电路控制上半部分加热元件，既可分开使用也可同时使用。管式炉具有较高的控温精度（±1℃）。此外该炉具有真空装置，可在多种气氛下工作，较大提高了其使用范围。该炉具有使用温度高、高精度控温、操作简单、维修方便等优点，可普遍用于冶金、机械、轻工、商检、高等院校及科研部门。管式炉一般由三个主要部分组成：辐射室、对流室及烟囱，炉底的油气联合燃烧器(火嘴)喷出高达几米的火焰，温度高达1000~1500℃、主要以辐射传热的方式，将大部分热量传给辐射室(又叫炉膛)炉管(也叫辐射管)内流动的油品。管式炉烟气沿着辐射室上升到对流室，温度降到700~900℃。以对流传热的方式继续将部分热量传给对流室炉管内流动着的油品，较后温度降至200~450℃的烟气从烟囱排**气。油品则先进入对流管再进入辐射管，不断吸收高温烟气传给的热量，逐步升高到所需要的温度。管式炉炉型如何选择：选择炉膛中间排管的圆筒炉、立式炉、箱式炉或者是其他的炉型。深圳真空箱式炉实验室**
PECVD管式炉当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态。深圳真空箱式炉实验室**
立式真空管式炉采用智能化程序控温系统，移相触发、可控硅控制，控温精度高；开启式立式真空管式炉炉膛采用日本技术真空吸附成型的氧化铝多晶体纤维材料；双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温度；开启式炉盖设计，可在高温情况下观察物料反应情况并实现迅速降温；真空级法兰密封，配有真空装置，可以抽真空通气氛；炉体处于立式工作位置，适用于在真空或是气氛保护环境下的材料烧结试验。立式真空管式炉的控制系统,具有安全可靠,操作简单,控温精度高（**PID控制）,保温效果好,温度范围大,炉膛温度均匀性高,温区多,可通气氛抽真空,可倾斜角度,炉管可360℃旋转等特点。立式真空管式炉的真空气氛系统：真空密封系统采用特种设计技术，具有操作安全、方便、真空度高，密封性好，真空保持时间长，密封采用不锈钢金属法兰及O型耐高温氟胶圈密封，气体经过流量计后由针型阀开关进入炉管内，阀控配有进气阀，排气、抽真空阀。减压阀，安全阀，可通多种气体、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体，可充入高压气体，气氛压力极限值0.1MPa，采用独特的密封技术，可长时间保压，安全性能好，操作方便。深圳真空箱式炉实验室**
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