真空镀膜应用,简单地理解就是在真空环境下,利用蒸镀、溅射以及随后凝结的办法,在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上镀上金属薄膜或者是覆盖层。相对于传统镀膜方式,真空镀膜应用属于一种干式镀膜。 真空蒸镀,其原理是在真空条件下,用蒸发器加热带蒸发物质,使其气化或升华,蒸发离子流直接射向基片,并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。 溅射镀膜是真空条件下,泰州卷绕镀膜机批发商,泰州卷绕镀膜机批发商,泰州卷绕镀膜机批发商,在阴极接上2000V高压电,激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。卷绕镀膜设备中薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊。泰州卷绕镀膜机批发商
卷绕式镀膜机30年来有了较大的发展,镀膜产品普遍用于装饰、包装、电容器等领域中,可镀光学、电学、电磁、导电等多种薄膜。所用基材有PE、PET、PI、PP、OPP、BOPP、纸、泡沫塑料及布等。一般塑料基薄膜材料含水量为1%~2%,纸含水量更大,一般为5%-7%,经涂布烘干后,含水量仍有3%。由于基材含水量高,故镀膜室由初始的单室发展到目前双室或多室结构。蒸发源可以是电阻式、感应式、电子柬式以及磁控溅射式。双室结构应用普遍,其优点是:①可以蒸镀放气量较大的纸基材,并能保障镀膜质量。纸放出的大量气体从卷绕室中被排走。由于卷绕室与蒸镀室之间隔板窄缝很小,使放出来的气体不易进入蒸镀室中;②单室结构必须配置较大的排气系统才能保障蒸镀时的工作压力,而双室结构中的蒸镀室气体量较小,可配小型抽气机组,使设备成本降低,并节约能源;③卷绕室与蒸镀室分别抽气,可缩短抽气时间。淮安卷绕镀膜机质量卷绕镀膜机卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。
一般蒸镀室要达到的真空度为1x10^-3人a—2×10^-3人a,而工作压力为1×10^-2Pa—2×10^-2Pa,而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。有时卷绕镀膜机以增扩泵(油扩散泵的一种)为主泵,它的极限压力虽然不及油扩散泵,但其抽速范围向高压方向延伸一个数量级,非常适宜此类蒸发的镀膜过程。目前国内卷绕式镀膜机蒸发源多采用坩埚蒸发,其材质有氮化硼、石墨、钼等。氮化硼由于电学及热学性能好,使用寿命长,因而较为普遍地应用于卷绕镀膜机中。每个坩埚的加热功率为6kW—8kW,加热电压为10V—12V。坩埚数量由基材幅宽来确定。辐宽愈宽坩埚数量愈多。幅宽500mm时4只坩埚,800mm时7只坩埚,1300mm时12只坩埚。坩埚分布是不均匀的,中间部分间距大些,在基材边缘处间距小,有的较外侧坩埚与基材幅宽边缘重合。
国外在上世纪90年代研究开发各种透明阻隔真空卷绕镀膜技术时,总结出采用电子束镀膜技术蒸镀SiOx和反应蒸镀Al2O3透明阻隔膜的工艺,其薄膜阻隔性能满足包装工业的要求。并且该工艺可大规模生产,镀膜质量好,工艺稳定性好,在生产过程中或以后均不存在环境污染问题。我们需要先了解一下电子束卷绕真空镀膜的工作原理。高能量扫描电子束发射的电子束按照预先设定的模式在盛放着待镀膜料的坩埚上方横向和纵向扫描,并轰击加热待镀膜材料,使其熔化蒸发或升华蒸发,或者氧化反应蒸发,直至把膜料镀至待镀膜卷上。 由于卷绕室与蒸镀室之间隔板窄缝很小,使放出来的气体不易进入蒸镀室中。
蒸发镀膜:通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法较早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比,具有较高的沉积速率,可镀制单质和不易热分解的化合物膜。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。卷绕镀膜机可用磁控溅射方法在柔性基材上镀制各种介质膜。淮安卷绕镀膜机质量
均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。泰州卷绕镀膜机批发商
卷绕式真空镀膜在线测厚仪(镀铝膜测厚仪)由探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统三部分组成。卷绕式真空镀膜在线测厚仪能在线实时监控产品品质。工作原理是因为材料的透过率(光密度)和材料的镀层厚度成一定的比例关系。这样通过监控材料的光学透过率(光密度)来达到监控材料的均匀性,镀层厚度的目的。适用于各种卷绕真空镀膜,玻璃镀膜,玻璃生产线等等。卷绕式真空镀膜在线测厚仪LS152在真空环境下经过8个小时的测试,温度从31.7℃到33.3℃,虽然温度在一直升高中,但是升幅不大,只升高了1.6℃。对于测试没有任何影响。泰州卷绕镀膜机批发商
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