吸盘式晶元硅片减薄机，在现有的酸洗减薄机的基础上进行设计，通过增加能够对单晶硅片进行安装固定的吸气盘，并且配合上整体的圆形回转式的结构，能够通过电机驱动带动设备进行工作，也能通过增加密封圈防止硅片出行偏移，吸盘的强力吸附力，能减少硅片出现破裂损坏，也不会因为硅片的破裂对其他的硅片造成伤害，一次性能够加工多个硅片，加快加工的速度，提升加工的效率，提高产品质量产量的同时，减少运营成本的投入。对于本领域的普通技术人员而言，浙江减薄机供应商，浙江减薄机供应商，浙江减薄机供应商，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。通过减薄/研磨的方式对晶片衬底进行减薄，改善芯片散热效果。浙江减薄机供应商

减薄机包括机架、传送装置和打磨装置，其中，传送装置包括可随中心轴旋转的转盘，转盘上依次设置有若干个围绕中心轴分布的工位，工位用于放置工件；打磨装置包括磨头和用于驱动磨头运动的驱动机构，磨头包括转轴和与转轴连接的磨盘，驱动机构包括设置在机架上的首先驱动组件、位于首先驱动组件上并可水平运动的第二驱动组件和位于第二驱动组件上并可上下运动的第三驱动组件，转轴与第三驱动组件连接，以在第三驱动组件的带动下转动；打磨装置设置在转盘的上方，通过转动转盘，可使若干个工位逐一与打磨装置的打磨位置对接。浙江减薄机供应商半自动双轴减薄机配置自动厚度测量和补偿系统，产品粗磨后移动至精磨位置，自动研削至目标值。

硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮，旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成，圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱，箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座，支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机，伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连，箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便，实现硅片单面化学减薄，不生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。半自动双轴减薄机产品粗磨后移动至精磨位置，自动研削至目标值。

集成电路制造工艺的发展对硅片等材料质量要求越来越严格，材料表面的波纹度及厚度只能通过减薄工艺来实现，因此减薄机成为必不可少的**设备，减薄机主要由工件吸盘、吸盘主轴及驱动器组件、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆导轨进给组件及其他辅助配件构成。目前市场现有吸盘可以分为电磁吸盘和真空吸盘，吸盘的大小根据需求定制。电磁吸盘利用磁通的连续性原理和磁场叠加原理设计。真空原理是由负气压变成零气压或正气压从而提升吸附产物的原理设计。横向减薄机硅片每分钟可减薄250um。

减薄机工件被放置在转盘的若干个工位上，并通过传送装置的转盘逐一传送至打磨位置，驱动机构中的首先驱动组件和第二驱动组件驱动磨头至打磨位置处，第三驱动组件驱动磨头转动对转盘位于打磨位置处的工位上的工件进行打磨减薄。通过传送装置和打磨装置之间的相互配合，加快了磨削速度，提高了生产效率和产能。传送装置还包括用于驱动中心轴转动的第二电机，中心轴一端与转盘固定连接，另一端安装有首先齿轮，第二电机的输出端安装有与首先齿轮相啮合的第二齿轮。传送装置还包括在转盘对应每个工位安装的吸盘，转盘上设置有与每个吸盘的安装位置对应的吸孔。减薄机在减薄后应对衬底背光进行抛光。浙江双面减薄机多少钱

减薄机可根据客户需求定制化各类工作台，满足各类半导体材料的研削薄化工艺；浙江减薄机供应商

在显示屏制作工艺中增加了减薄工艺，通过物理和化学方法使显示器厚度达到轻薄化的目的，目前玻璃化学腐蚀工艺主要使用氢氟酸混合物对液晶玻璃进行减薄，减薄时使用刻蚀液的刻蚀方式有浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式以及以及单面的瀑布流式，由于浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式都具有刻蚀后表面不光滑的现象，所以越来越多的使用瀑布流式。现有技术对于液晶玻璃减薄，液晶玻璃的刻蚀工艺以及清洗工艺是分开操作，操作过程较为繁琐，喷洒机构满足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蚀，为此，我们提出一种集刻蚀工艺以及清洗工艺为一体的适用于瀑布流式玻璃减薄的液晶玻璃减薄机来解决上述问题。浙江减薄机供应商

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