一般蒸镀室要达到的真空度为1x10^-3人a—2×10^-3人a，而工作压力为1×10^-2Pa—2×10^-2Pa，而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。有时卷绕镀膜机以增扩泵（油扩散泵的一种）为主泵，它的极限压力虽然不及油扩散泵，但其抽速范围向高压方向延伸一个数量级，非常适宜此类蒸发的镀膜过程。目前国内卷绕式镀膜机蒸发源多采用坩埚蒸发，其材质有氮化硼、石墨、钼等。氮化硼由于电学及热学性能好，使用寿命长，因而较为普遍地应用于卷绕镀膜机中，上海卷绕镀膜机应用。每个坩埚的加热功率为6kW—8kW，加热电压为10V—12V。坩埚数量由基材幅宽来确定。辐宽愈宽坩埚数量愈多。幅宽500mm时4只坩埚，上海卷绕镀膜机应用，800mm时7只坩埚，1300mm时12只坩埚。坩埚分布是不均匀的，中间部分间距大些，上海卷绕镀膜机应用，在基材边缘处间距小，有的较外侧坩埚与基材幅宽边缘重合。 目前国内卷绕式镀膜机蒸发源多采用坩埚蒸发，其材质有氮化硼、石墨、钼等。上海卷绕镀膜机应用

卷绕式真空镀膜机在结构上除了有一般镀膜机所有的结构外，必须有一个为了实现连续镀膜而设置的卷绕机构。由于被镀基体是纸或塑料，放气量较大，因此，在真空室的结构上又有单室和多室之分，卷绕机构设计中应考虑的几个问题： ①提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度，它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min，现在也只有80m/min～120m/min，在国外日本的EW系列产品中，其卷绕速度已达到300m/min，德国L．H公司生产的镀膜机已达到600m/min，可见随着镀膜技术的发展，卷绕速度有待提高。 ②带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要，因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定，才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜（如电容器膜）尤为重要。上海卷绕镀膜机应用卷绕镀膜机应提高卷绕速度的问题。

磁控卷绕镀膜设备，该设备所有系统高度集成、结构紧凑，基片实现自动卷绕运转，膜层紧密均匀，自动化程度高，操作简单灵活，性能稳定。可在幅宽1100MM的PET卷材上连续镀制一层或多层膜，可以是金属膜，介质膜，也可以是这两类膜的组合。真空镀膜的运作原理：物理的气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。

带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要，因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定，才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜（如电容器膜）尤为重要。带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高，带状基材在卷绕镀膜过程中，起褶和发生偏斜，严重时会造成基材的断裂，使生产中断，既影响生产效率，又浪费材料。因此，在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。卷绕镀膜机真空抽气系统分上室下室两组，下室为蒸镀室，要求真空度高，主泵多为油扩散泵。上室为基材卷绕室，要求真空度较低，为罗茨泵机组或扩散泵一罗茨泵一机械泵组。卷绕式真空镀膜机在结构上除有一般镀膜机所有的结构外，必须有一个实现连续镀膜而设置的卷绕机构。

常见的真空卷绕镀膜设备按其工作原理分为：蒸发卷绕镀膜、磁控溅射卷绕镀膜和组合式卷绕镀膜。其中蒸发卷绕镀膜又分为电阻加热蒸发、感应加热蒸发和电子束加热蒸发三种；磁控溅射卷绕镀膜分为直流溅射和中频反应溅射两种；组合式卷绕镀膜分为电阻蒸发和磁控溅射组合、电阻蒸发和电子束蒸发组合、电子束蒸发和磁控溅射组合等多种形式。真空镀膜的运作原理：物理的气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。卷绕室与蒸镀室分别抽气，可缩短抽气时间。上海卷绕镀膜机应用

氮化硼由于电学及热学性能好，使用寿命长，因而较为普遍地应用于卷绕镀膜机中。上海卷绕镀膜机应用

涂镀层的性能会直接影响镀膜需求，也需要材料学的不断创新。我国基础材料学相较于发达国家起步较晚，虽然近几年在国家的大力发展支持下取得了许多突破性的进展，实现了很多技术突破，但是和发达国家相比还存在一定的差距。基础行业发展的局限性将在一定程度上限制真空离子镀膜行业的发展。我国的多弧离子镀膜机行业企业以中型企业居多，近五成，大型企业数量较少。大部分企业仍处于快速发展的阶段，因此市场的集中度较低。行业主要设备生产企业均有优势产品，随着行业竞争的加剧，各公司产品的不断拓宽，市场竞争会变得逐渐激烈。上海卷绕镀膜机应用

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