磁控溅射工艺具备以下特点: 1、沉积速率大。由于采用高速磁控电极,可获得的离子流很大,有效提高了此工艺镀膜过程的沉积速率和溅射速率。与其它溅射镀膜工艺相比,磁控溅射的产能高、产量大、于各类工业生产中得到普遍应用。 2、功率效率高。磁控溅射靶一般选择200V-1000V范围之内的电压,通常为600V,因为600V的电压刚好处在功率效率的较高有效范围之内。 3、溅射能量低。磁控靶电压施加较低,磁场将等离子体约束在阴极附近,连云港磁控镀膜机工作原理,连云港磁控镀膜机工作原理,连云港磁控镀膜机工作原理,可防止较高能量的带电粒子入射到基材上。 4、基片温度低。可利用阳极导走放电时产生的电子,而不必借助基材支架接地来完成,可以有效减少电子轰击基材,因而基材的温度较低,非常适合一些不太耐高温的塑料基材镀膜。磁控溅射采用新型阴极使其拥有很高的靶材利用率和高沉积速率。连云港磁控镀膜机工作原理
主要用于汽车、火车、轮船等前挡及玻璃门窗的贴膜,建筑门窗及幕墙贴膜,防静电和电磁贴膜,装饰贴膜和包装膜、太阳能暖房贴膜,电加热器膜,防霜雾透明膜,FPD平板显示用透明电极膜,在金属带上镀光学多层膜做薄膜太阳能电池等。如ITO透明导电膜可以作为冷发光材料,在棉布表面镀上SiO2可制成防电磁辐射的防护服,镀Ni的海绵绕制后可做镍氢电池,镀上多种材料的基材可做电子书、柔性显示器件等。磁控溅射卷绕镀膜技术由于覆盖领域普遍,虽然比蒸发卷绕镀膜技术起步晚,但发展极为迅速,在未来的高科技领域和环保节能领域将大有可为。连云港磁控镀膜机工作原理与其它溅射镀膜工艺相比,磁控溅射的产能高、产量大、于各类工业生产中得到应用。
为了解决缺陷,人们在20世纪70年代替开发出了直流磁控溅射技术,它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,因而获得了迅速发展和普遍应用。 其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。该方法的缺点是不能制备绝缘体膜,而且磁控电极中采用的不均匀磁场会使靶材产生明显的不均匀刻蚀,导致靶材利用率低,一般只为20%-30%。
随着市场多元化的不断需求,对于很多企业来说需要根据其产品的工序购置不同的机器设备,拿真空镀膜行业来说,如果一台机器就能完成从镀膜前处理到镀膜后处理,中间不需要人工干预不需要转换工序,那么无疑是企业的香饽饽,在单设备上实现一体化多功能成为了镀膜设备企业的共同需求。真空镀膜设备普遍应用于工业生产,无论是小产品还是大产品、金属制品还是塑胶制品、亦或者陶瓷、芯片、电路板、玻璃等产品,基本上所有需要进行表面处理镀膜的都需要用到。在镀膜方式上,比较普遍的是采用蒸发镀或者磁控溅射镀或者离子镀,在控制技术上,更多的应用先进的计算机技术和微电子技术,使得真空镀膜设备更具高效性和智能自动化。磁控溅射工艺特别适合用于多层膜结构的沉积。
磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法。二极直流溅射时,气体被电离之后,气体离子在电场作用下飞向接阴极的靶材,电子则飞向接地的壁腔和基片。这样在低电压和低气压下,产生的离子数目少,靶材溅射效率低;而在高电压和高气压下,尽管可以产生较多的离子,但飞向基片的电子携带的能量高,容易使基片发热甚至发生二次溅射,影响制膜质量。另外,靶材原子在飞向基片的过程中与气体分子的碰撞几率也大为增加,因而被散射到整个腔体,既会造成靶材浪费,又会在制备多层膜时造成各层的污染。如眼镜、手表、手机配件、电子产品、水晶玻璃等。连云港磁控镀膜机工作原理
磁控溅射工艺可利用阳极导走放电时产生的电子,而不必借助基材支架接地来完成。连云港磁控镀膜机工作原理
中优良的设备特点,设备稳定性一定要好,选用的配件一定要可靠,镀膜机本身是一个复杂的系统,包括真空,自动化,机械等多个系统,任何一个部件的不可靠,都会造成系统的不稳定,会给生产带来不便,所以,一台稳定的设备,要保证选用的每一个部件都是可靠的,很多人在购买镀膜机时,很自然的会比较,一台100万的镀膜机和一台200万的镀膜机在基本配置上可能不会有非常大的区别,可是正是对一些微小的细节的掌握,才成就了一台性能稳定的镀膜机,较简单的一句话:一分钱一分货。看看同行业的有名的公司都在选用哪个公司的镀膜机,这无疑是风险较小的一种选择方式,除了有名的公司,也包括一些质量非常稳定,声誉很好的中小型公司,通过朋友,了解一下他们都在用哪个公司的设备,如果你要和这些公司竞争,选择一台至少不能比他差的镀膜机,这是基本,然后聘用有经验的镀膜师傅,这样你的产品就会很快的打开销路。连云港磁控镀膜机工作原理
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