XY精密平台的工作原理:目前 ,实现大行程高精度、具有一定运行速度和负载能力的位移主要有两种方法。 ,只采用一级传动机构 ,同时满足大行程和高精度的要求,清远精密位移平台生产厂家。这种方法的优点在于只需采用一套机械系统和一套相应的控制系统。但此法大的缺点是系统对机械装置和控制系统的要求非常高 ,必须采用特殊的材料、工艺以及具有精确数学模型及精确补偿模型的伺服控制系统来保证位移精度的实现。XY精密平台的工作模式:(1) 级机构的行程误差必须小于第二级机构(微定位平台 )的大行程 ,清远精密位移平台生产厂家,即级机构的误差具有可补偿;( 2) 对轨迹精度有要求时 ,清远精密位移平台生产厂家,第二级机构的控制周期必须小于级机构的有效控制周期 ,即第二级机构的补偿动作具有有效性和实时性电动平移台特点:步进电机和研磨丝杆通过进口***弹性联轴节连接。清远精密位移平台生产厂家
精密位移平台运行中电动机振动较大1、故障原因①由于磨损轴承间隙过大;②气隙不均匀;③转子不平衡;④转轴弯曲;⑤联轴器(皮带轮)同轴度过低。2、故障排除①检修轴承,必要时更换;②调整气隙,使之均匀;③校正转子动平衡;④校直转轴;⑤重新校正,使之符合规定。精密位移平台通电后电机不转有嗡嗡声1、故障原因①转子绕组有断路(一相断线)或电源一相失电;②绕组引出线始末端接错或绕组内部接反;③电源回路接点松动,接触电阻大;④电动机负载过大或转子卡住;⑤电源电压过低;⑥小型电动机装配太紧或轴承内油脂过硬;⑦轴承卡住。精密手动位移平台内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、精密手动位移平台等部分组成 。上海位移平台报价高精密手动位移台应用优点:运动平行度在一定精确度范围之内。
直线位移台的基本参数:直线位移台是一种单一直线移动的位移台,它主要是由微分头和导轨、台面尺寸组合而成的。它的行程和精度是由导轨和微分头决定的。微分头的移动速度越慢它的精度也就越准确。对定位也就越精确。行程的话是由导轨的移动距离决定的,移动的距离越远它的行程就越大。直线位移台的主要应用在简单的光纤对准,设备的定位调整上,工装夹具的定位上的应用。直线位移台的的价格主要是根据台面尺寸和精度来决定的,台面尺寸越大,精度要求越高,随之的价格可能也就越高。但是性价比和质量肯定也是有保证的。
手动位移平台的应用的准则:(1)精度补偿:手动位移平台是高精度精密仪器的中心,当前精密工作台的运动速度,一般在20mm/s50mm/s,较高的可达100mm/s以上,而精度则要求达到1μm以下,由于高速度带来的惯性很大,一般运动精度比较低,为解决高速度和高精度的矛盾,通常采用粗精相结合的两个工作台来实现。如图1-2所示粗工作台的完成高速度大行程而高精度由精密位移工作台来实现,通过手动位移平台对粗动工作台运动中带来的误差进行精度补偿,以达到预定的精度。(2)微进给:主要用于精密机械加工中的微进给机构以及精密仪器中的对准微动机构,如金刚石车刀车削镜面磁盘,车刀的进给量为5μm就是利用微位移机构实现的。高精密手动位移台应用优点:细微调节量确保台面的微量进给。
电物镜位移台是专为驱动物镜头进行纳米级快速步进、扫描而设计的,它与压电纳米定位台、压电平台具有相同的原理,与之不同之处是具有专门针对物镜头的特殊螺纹适配接口,非常便于物镜头的连接与固定。
P76压电物镜位移台应用于显微扫描成像,以测量纳米结构。
下图应用中采用的是倒置使用压电物镜位移台,显微镜与物镜位移台位于样品的下方。该系统采用笼式结构组成,利用光学测量原理,通过P76位移台的纳米级高精度快速步进扫描,可对纳米结构进行高精度的测量,该测量非常适于生物、医疗等应用,同时它也是纳米加工中不可或缺的步骤。
高精密手动位移台应用优点:导轨为线性滚珠走精磨钢棒,载重较轻。清远精密位移平台生产厂家手动线性位移台特点:两个单轴位移台可组装成XY轴。清远精密位移平台生产厂家
精密微调平台在精密测厚时需要注意哪些:1、精密微调平台用单激光测厚,被测体放在测量精密微调平台上,测量出传感器到平台表面距离,然后再测出传感器到被测体表面间距,经计算后测出厚度。要求被测体与测量精密微调平台之间无气隙,被测体无翘起。这些严格要求只有在离线情况实现。2、 精密微调平台测厚,在被测体上方和下方各安装一个精密微调平台 ,被测体厚度D=C-(A+B)。其中,C是两个传感器之间距离,A是上面传感器到被测体之间距离,B是下面精密微调平台到被测体之间距离。图中:SMR是指精密微调平台量程起始间距,MR是指传感器量程。清远精密位移平台生产厂家
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