相对准确的电磁场设计是对溅射过程中的电磁场进行模拟,而不是只对未工作时的磁控溅射设备进行电磁场模拟。 电源的选择:“电源”的选择应根据不同的工艺过程确定,常见的有直流电源、中频电源、射频电源及能够实现多种供电模式的混合型电源等,南京磁控镀膜机批发商。 材料的选择:对于射频电源来说,功率的载人和匹配是非常重要的问题。大功率射频电源的电极载入材料要求面电导率高且化学稳定性好,工业上常选用无氧铜作为电极材料。磁控靶内的材料可按磁导率的高低划分,磁靴为高磁导率材料,一般为工业纯铁。阳极与屏蔽:阳极设计要考虑空间的位置,电位关系,尺寸和面积以及阳极的材料性能,保证溅射过程稳定进行。屏蔽的设计,首先要考虑电场的设计和电位关系,防止非靶材材料被溅射,污染薄膜。其次考虑屏蔽材料的性能,一般选用饱和蒸气压低,溅射阈值高且符合真空工艺要求的材料,南京磁控镀膜机批发商。磁控溅射工艺包括了光学设计、彩色膜、耐磨涂层、纳米层压板,南京磁控镀膜机批发商、超晶格镀膜、绝缘膜等。南京磁控镀膜机批发商
磁控镀膜设备采用中频磁控溅射及多弧离子相结合技术,适用于塑胶、玻璃、陶瓷、五金等产品,如眼镜、手表、手机配件、电子产品、水晶玻璃等。膜层的附着力、重复性、致密度、均匀性好,具有产量大,产品良率高等特点。磁控溅射镀膜设备用高能粒子轰击固体表面,固体表面的原子、分子与入射的高能粒子交换动能后从固体表面飞溅出来的现象称为溅射。溅射出来的原子具有一定的能量,它们可以重新沉积凝聚在固体基片表面上形成薄膜,称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶材击出阴极靶材的原子或分子,飞向被镀基片表面沉积成薄膜。本公司设备均为非标定制,可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。南京磁控镀膜机批发商磁控溅射工艺可利用阳极导走放电时产生的电子,而不必借助基材支架接地来完成。
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在*近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,之后沉积在基片上。
抽真空系统,目前基本是两种,一种是扩散泵系统,一种是分子泵系统,分子泵系统属于清洁抽气系统,没有扩散泵的返油现象,抽速也相对比较稳定,而且比较省电,电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的,特别是润滑油的定期更换,注意油品牌号的选择,选择错误很容易损坏真空泵。真空检测系统,目前基本都是用复合真空计,热偶规+电离规的组合,这个组合在遇到充入大量含有C元素的气体的工艺,电离规很容易毒化,造成电离规损坏,如果镀制含有大量C元素的气体的工艺,可以考虑,配置电容薄膜规。磁控溅射工艺特别适合用于多层膜结构的沉积。
间冷式的适合于气密性较差的靶材, 功率要小一些。靶内磁体目前更多采用的是钕铁硼永磁体, 只要保证磁场的均匀, 再在工作气体的布气装置上采用合理的方式, 在整个靶面的区域内, 实践证明均能获得均匀的溅射刻蚀。这是膜层横向均匀性的重要保证。考虑到靶的两端所产生的边缘效应, 为使基片的两端也获得与中间部分相同的膜厚, 靶的两端要伸出基片边缘足够的长度。高真空的背景是溅射沉积的必要条件, 所以溅射室对称设置有高真空机组。目前采用的大多是扩散泵机组。进口设备中, 配置涡轮分子泵的, 但维修麻烦, 更换轴承需由厂家进行;配置扩散泵的还加有液氮冷阱, 这样有更好的挡油效果, 但维持费用高。这种泵用于进片室可以免油蒸汽对基片的污染, 并可防止活性气体周期性的混入镀膜室内。通过对电子的运动路径的延长及区域范围束缚,来增加电子的电离概率。南京磁控镀膜机批发商
磁控溅射工艺还用于卷绕工艺中用于包装膜、光学膜、贴膜等膜层镀制。南京磁控镀膜机批发商
真空镀膜行业自改变开放以来有了巨大的发展和长足的进步,这不只反映在产值、产量上的大幅度增长,而且在品种、规格还有综合技术水平上都取得了可观的成绩,彰显了这样一个事实:高新技术的发展及应用促进和带动了真空设备行业的发展和技术升级。在近十几年来,我国的真空镀膜设备因企业的大量需求而迅速发展,各种类型各种镀膜工艺的真空镀膜设备在不断的增加,其功能也越来越完善。就国内而言,过去两年更多关注真空镀膜行业人群主要集中在华东、华南两个大区。广东、浙江、江苏三省真空镀膜关注量遥遥其他省份。国内5000多家真空镀膜企业,广东、浙江两省总计有2500多家,占比高达50%,对于推动国内真空镀膜行业起到了极为积极和重要的作用。 南京磁控镀膜机批发商
无锡光润真空科技有限公司总部位于新吴区金城东路333-1-102,是一家无锡光润真空科技有限公司(简称“光润真空”)是从事研发、设计、销售、制造、服务真空镀膜设备于一体的综合性科技公司。 真空镀膜机,卷绕镀膜机,磁控镀膜机,PVD设备,多弧镀膜机,表面处理设备,蒸空式真空镀膜机,磁控光学真空镀膜机,离子真空镀膜机,磁控真空镀膜机,光学真空镀膜机的公司。光润真空作为无锡光润真空科技有限公司(简称“光润真空”)是从事研发、设计、销售、制造、服务真空镀膜设备于一体的综合性科技公司。 真空镀膜机,卷绕镀膜机,磁控镀膜机,PVD设备,多弧镀膜机,表面处理设备,蒸空式真空镀膜机,磁控光学真空镀膜机,离子真空镀膜机,磁控真空镀膜机,光学真空镀膜机的企业之一,为客户提供良好的真空镀膜机,PVD设备,卷绕镀膜机,磁控镀膜机。光润真空始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。光润真空始终关注自身,在风云变化的时代,对自身的建设毫不懈怠,高度的专注与执着使光润真空在行业的从容而自信。
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