液晶玻璃减薄机利用直角梯形支座斜面上的夹具夹紧液晶玻璃,将液晶玻璃倾斜放置,以倒U形支架上的两个立板上的出液管道,出液管道在导流板的作用下,分别向液晶玻璃上瀑布式的喷洒刻蚀液以及清洗液,而夹具以及直角梯形支座在首先滑块与滑轨的滑动作用下,浙江研磨减薄机种类,在操作台的顶部,以及倒U形支架的底部,自由的切换工位,以适应于向液晶玻璃上喷洒刻蚀液以及清洗液,而且喷洒后的刻蚀废液以及清洗废液可以分类收集于集液槽中,以瀑布流式对液晶玻璃进行刻蚀,废液少,玻璃减薄表面光滑,不用抛光,浙江研磨减薄机种类,浙江研磨减薄机种类,而且玻璃刻蚀减薄后可以直接进行清洗操作,免去要刻蚀后取下液晶玻璃转移工位的繁琐步骤。蓝宝石减薄机砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速。浙江研磨减薄机种类
随着硅片直径的增大,对硅片背面减薄的要求越来越高,但是旋转工作台磨削技术具有一定的局限性.1984年S.Matsui提出了硅片自旋转磨削(waferrotatingginding)法,并开始逐渐取代旋转工作台磨削。硅片自旋转磨削法采用略大于硅片的工件转台硅片通过真空吸盘夹持在工件转台的中心,杯形金刚石砂轮工作面的内外圆周中线调整到硅片的中心位置,硅片和砂轮绕各自的轴线回转,进行切入磨削.磨削深度t与砂轮轴向进给速度f,硅片转速凡的关系为:tw=HtZ。主要是消除粗磨时形成的损伤层,达到所要求的厚度,在精磨阶段,材料以延性域模式去除,硅片表面损伤明显减小。浙江全自动减薄机大全卧式减薄机保证加工成本合理优化;
蓝宝石减横机丝杆进给组件采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式为伺服驱动。由以上组件构成的蓝宝石减横机具有非常高精密的加工能力及双面平行度控制能力,它能加工工件厚度在5u以下的工件。并且不发生断裂、塌边、划痕等现象。蓝宝石减横机目前以前已经有了两种机型、卧式蓝宝石减横机及立式蓝宝石减横机,前者一般加工直接在200mm以内的工件,后者加工直径在300-500mm的工件。该种蓝宝石减横机,在目前LED蓝宝石生产线上,被公认为目前国内极好的减横机。
晶圆加工减薄机吸盘由网板、安装孔构成,网板为圆形结构,网板上两个以上的网孔即为安装孔,安装孔和气管活动配合。网板的网孔呈均匀等距分布,分布均匀。吸盘上还设有软胶垫,软胶垫和网板活动嵌合,软胶垫形状与网板等同,软胶垫厚度低于网板厚度。气管由海绵圈、底管、支撑架组成,底管一端衔接有一个海绵圈,海绵圈正中间嵌有支撑架,底管和通气腔活动配合,海绵圈顶端面光滑。支撑架由圈状的弹线圈和经线垂直交叉形成的圈筒,弹线圈和经线材料本身具有一定地弹性。减薄机减薄时如果研磨或者抛光的过程中有明显的细微划痕,我们就要清洗陶瓷盘/环;
液晶玻璃减薄机操作台的右端设有电动推杆,电动推杆活塞杆的端部与连接板的右侧面固定连接。利用电动推杆推动连接板,从而推动首先滑块顶部的夹具,对夹具上夹装的液晶玻璃进行工位的转移,转移至左侧立板的底部,对液晶玻璃进行刻蚀液的刻蚀,转移至右侧立板的底部,对液晶玻璃进行刻蚀后的清洗。支杆设有四个,且四个支杆均与直角梯形支座斜面相垂直。夹具包括固定设于支杆上的回字形框以及设于回字形框四个边角内侧的通过弹簧连接的直角夹板。利用直角夹板对液晶玻璃的四个角进行夹紧。立板顶部固定气缸的活塞杆的端部与第二滑块的顶部固定连接。利用气缸推动第二滑块下移,使得喷嘴以及导流板移至液晶玻璃右侧顶部,对液晶玻璃进行刻蚀以及清洗工艺处理。横向减薄机硅片每分钟可减薄250um。浙江全自动减薄机大全
横向减薄机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。浙江研磨减薄机种类
晶圆加工减薄机,其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板,机体前端面上设有控制面板,机体顶端一侧活动安装有遮盖,遮盖和机体之间开安装有开合器,遮盖内壁正中间安装有研磨头,和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构,吸盘结构和研磨头相互配合。吸盘结构设有输气器、吸盘、气管,吸盘位于输气器正上方,输气器和吸盘活动卡合,吸盘上设有两个以上的气管,气管和吸盘活动卡合。吸盘结构设有堵头,堵头和吸盘活动配合。输气器由抽气管、底盘、通气腔组成,底盘内部设有通气腔,通气腔另一端贯穿底盘另一端,底盘另一端正中间设有抽气管,抽气管和底盘互相垂直,抽气管和通气腔贯通,通气腔靠近抽气管的那端比另一端要窄。浙江研磨减薄机种类
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