立式减薄机主要特点:1,浙江减薄机大全、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。3,浙江减薄机大全、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,浙江减薄机大全,提高减薄后的精密度和表面效果,4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作,不需要每次都要对刀。减薄机尽量减少洁净间的占地面积。浙江减薄机大全
单晶硅片是由纯度极高的单晶硅制成,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,单晶硅圆片也成为晶元,是生产集成电路所用的载体,在集成电路的生产过程中起着至关重要的作用。在晶元硅片的使用过程中,有时需要对晶元表面进行减薄处理。然而,现有市场上的晶元减薄机一般是直接将单晶硅片放进清洗设备的内部,通过直接对设备内部加注进行辅助加工的酸性溶液进行工作,但是直接的摆放硅片可能会在进行加工的过程中对其造成损伤,并且飞溅的碎屑也会对其他的硅片造成损伤,无法保证加工产品的质量和加工效率,浪费资源增加了运营的成本。减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。浙江减薄机设备减薄机具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求;
立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。横向减薄机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。
随着硅片直径的增大,对硅片背面减薄的要求越来越高,但是旋转工作台磨削技术具有一定的局限性.1984年S.Matsui提出了硅片自旋转磨削(waferrotatingginding)法,并开始逐渐取代旋转工作台磨削。硅片自旋转磨削法采用略大于硅片的工件转台硅片通过真空吸盘夹持在工件转台的中心,杯形金刚石砂轮工作面的内外圆周中线调整到硅片的中心位置,硅片和砂轮绕各自的轴线回转,进行切入磨削.磨削深度t与砂轮轴向进给速度f,硅片转速凡的关系为:tw=HtZ。主要是消除粗磨时形成的损伤层,达到所要求的厚度,在精磨阶段,材料以延性域模式去除,硅片表面损伤明显减小。卧式减薄机采用砂轮轴横卧的安装方式,手动装片,通过砂轮进给控制研削量。
液晶玻璃减薄机,包括操作台,操作台的顶部前后两端对称设有两个横向设置的滑轨,两个滑轨上对称滑动连接的首先滑块之间通过连接板连接,两个首先滑块的顶部通过倒U形支座,倒U形支座顶部的直角梯形支座斜面通过支杆与夹装有液晶玻璃的夹具固定连接,操作台的顶部中间位置设有横向设置的倒U形支架,倒U形支架上左右对称设有两个立板,立板前侧面的滑槽上滑动连接有第二滑块,第二滑块前侧面固定螺接有L形支板,L形支板顶部左侧设有纵向设置的出液管道,出液管道的底部等距离排列设有若干喷嘴,喷嘴的内侧设有与L形支板螺接连接的导流板,操作台上且位于两个滑轨的内侧左右对称设有两个与立板垂直对称设置的集液槽。全自动减薄机有全自动上下片,干进干出的全自动研削系统。目前国外生产的减薄机具有高精度、高集成化、自动化、加工硅片大尺寸化、超薄化等特点。江苏减薄机公司
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一种蓝宝石减薄机,该减薄机能够快速地降低蓝宝石的厚度,达到快速减薄的效果。通过对蓝宝石直接进行减薄,达到快速减薄的效果,进一歩降低蓝宝石贴片的厚度,便于后续的研磨加工,能够极大提高蓝宝石的加工效率。且本实用新型能够均匀、批量地对蓝宝石进行减薄,提高蓝宝石的加工速度,降低蓝宝石的制作成本。该减薄机能够均匀、批量地对蓝宝石进行减薄,提高蓝宝石的加工速度,降低蓝宝石的制作成本,为蓝宝石的后期研磨提供可靠地保证。浙江减薄机大全
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