磁控溅射镀膜的产品特点: 1、磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈。相应地,环状磁场控制的区域是等离子体密度较高的部位。在磁控溅射时,可以看见溅射气体——氩气在这部位发出强烈的淡蓝色辉光,形成一个光环。处于光环下的靶材是被离子轰击较严重的部位,会溅射出一条环状的沟槽。环状磁场是电子运动的轨道,环状的辉光和沟槽将其形象地表现了出来。磁控溅射靶的溅射沟槽一旦穿透靶材,就会导致整块靶材报废,所以靶材的利用率不高,一般低于40%; 2、等离子体不稳定; 3、不能实现强磁性材料的低温高速溅射,因为几乎所有的磁通都通不过磁性靶子,南京磁控镀膜机操作,所以在靶面附近不能加外加强磁场。膜层的附着力,南京磁控镀膜机操作、重复性、致密度,南京磁控镀膜机操作、均匀性好,具有产量大,产品良率高等特点。南京磁控镀膜机操作
伴随碰撞频次的增多,电子能量会逐渐变弱,电子也慢慢远离靶面。低能电子会沿着磁力线来回振荡,直至电子能量快耗尽的时候,受电场影响而终会沉积于基材上。因为该电子的能量较弱,所以传给基材的能量较低,基材的温升作用不大。位于磁极轴线处的电场跟磁场相互间平行,第二类电子将直接飞向基片。但是,在磁控溅射镀膜设备中,磁极轴线处离子电流密度低,所以对于第二类包括电子数据很少,让基片温升效果较差。磁控溅射镀膜设备的基本原理是通过磁场使电子运动的方向改变,通过对电子的运动路径的延长及区域范围束缚,来增加电子的电离概率,更好地使电子的能量利用更有效,这便是磁控溅射技术的“高速”和“低温”的特性机理。设备始于1974年时J. 产品的研发成果,当时磁控溅射镀膜设备一经研发,其相较于别的镀膜工艺显得优越性较为突出,设备适用范围极广,可在任何基材上镀上任何物料的膜层。无锡磁控镀膜机供应商磁控溅射镀膜设备的沉积速率高。
中频交流磁控溅射在单个阴极靶系统中,与脉冲磁控溅射有同样的释放电荷、防止打弧作用。中频交流溅射技术还应用于孪生靶(Twin2Mag)溅射系统中,中频交流孪生靶溅射是将中频交流电源的两个输出端,分别接到闭合磁场非平衡溅射双靶的各自阴极上,因而在双靶上分别获得相位相反的交流电压,一对磁控溅射靶则交替成为阴极和阳极。孪生靶溅射技术有效提高磁控溅射运行的稳定性,可避免被毒化的靶面产生电荷积累,引起靶面电弧打火以及阳极消失的问题,溅射速率高,为化合物薄膜的工业化大规模生产奠定基础。 连续式的磁控溅射生产线 总体上可以分为三个部分: 前处理, 溅射镀膜, 后处理。
真空磁控溅射镀膜特别适用于反应沉积镀膜,实际上,这种工艺可以沉积任何氧化物、碳化物以及氮化物材料的薄膜。此外,该工艺也特别适合用于多层膜结构的沉积,包括了光学设计、彩色膜、耐磨涂层、纳米层压板、超晶格镀膜、绝缘膜等。早在1970年,已经有了高质量的光学薄膜沉积案例,开发了多种光学膜层材料。这些材料包括有透明导电材料、半导体、聚合物、氧化物、碳化物以及氮化物等,至于氟化物则多是用在蒸发镀膜等工艺当中。磁控溅射镀膜设备采用中频磁控溅射及多弧离子相结合技术,适用于塑胶、玻璃、陶瓷、五金等产品,如眼镜、手表、手机配件、电子产品、水晶玻璃等。膜层的附着力、重复性、致密度、均匀性好,具有产量大,产品良率高等特点。电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。
选购时要考虑真空镀膜机的能达到的各项工艺参数,如镀膜颜色、粗糙度、附着力等。其次要考虑设备的用电条件,要根据配置考虑电耗多大,否则电力方面的问题解决不了,设备买回去也是不能用的。还要考虑真空镀膜的产能和品质来选择适合的真空镀膜机,选择小了产量跟不上,选择大了一方面价格会高,另一方面产能过剩造成资源浪费。而且设备太大并不是适合生存所有的的产品。另外场地问题,要根据要求买多大规格的真空镀膜机来考虑需要多大面积的地方安装设备了。真空镀膜机厂家的技术是否支持?是否有维修服务?在选购时较好让真空镀膜机厂家推荐已经购买镀膜机的厂子,去问问关于这个镀膜机生产厂家的镀膜机质量如何,服务怎么样?磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈。南京磁控镀膜机操作
磁控溅射工艺还用于卷绕工艺中用于包装膜、光学膜、贴膜等膜层镀制。南京磁控镀膜机操作
真空系统设计是一个相对成熟的设计部分,主要包括下面四个部分: (1)室体结构——由系统工作方式设定其设计形式。真空室可设计为单室,多室和生产线等形式,并可以选择诸如连续、半连续等生产方式。对于生产平板基片的室体来说,应该进行强度、刚度、稳定性等优化设计,同时考虑加工工艺的可行性和简易性。 (2)材料选择——按照真空工艺要求,选择满足饱和蒸气压低,热稳定性和化学稳定性好,易除气,透气率小等要求的材料21。例如,奥氏体不锈钢,铝合金,无氧铜等。对于大尺寸设备,为降低设备整体或移动部件的重量,可以优先选取铝合金等轻质金属材料。 (3)真空元件的设计——真空密封,电极引入,管路和阀门等。不同的工艺条件所选用的真空元件不同。 (4)真空泵和真空计的选择——一般可按照常见的工程要求进行设计。精确的设计需要定量的计算真空室内的工艺气体密度分布。不同种类的气体和不同的真空室清洁程度的要求需要选用不同的真空泵和真空计。真空泵的返油会对基片造成污染,氧气等反应气体会氧化泵油,因此,常选用干式无油真空泵作为真空抽气系统。 南京磁控镀膜机操作
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