不同主泵配置的前级泵不同： （1）蒸汽流泵前级配置泵。包括扩增泵、油扩散喷射泵、油扩散泵等。 在主泵排气口的较大允许压力下，要求将主泵产生的较大气体量排出。 （2）罗茨泵串联机组。此类前级泵配置方式有两种类别：一个是罗茨泵加罗茨泵加机械泵；另一个是罗茨泵加罗茨泵加水环泵。不同的两种方式都是以罗茨泵为主泵，另一罗茨泵为前级泵的配置方式，安徽真空镀膜设备哪家强。 （3）其它常见的前级泵配置有：罗茨泵以油封机械泵为前级泵，安徽真空镀膜设备哪家强，安徽真空镀膜设备哪家强、罗茨泵前级配置水环泵以及涡轮分子泵的前级配置泵等。 真空镀膜设备连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。安徽真空镀膜设备哪家强

真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。安徽真空镀膜设备哪家强以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准，从而制订出洁净室的等级。

扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。首先启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到标准，否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

真空镀膜设备的应用： 1、真空镀膜设备在信息存储领域中的应用： 真空蒸发镀膜机薄膜材料作为信息记录于存储介质，有其得天独厚的优势：由于薄膜很薄可以忽略涡流损耗；磁化反转极为迅速；车灯镀膜机与膜面平行的双稳态状态容易保持等。 　　2、 真空镀膜设备在光学仪器中的应用 　　人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。 真空镀膜设备在集成电路制造中的应用： 　　1.晶体管路中的保护层（SiO2、Si3N4）、多弧离子镀膜机电极管线（多晶硅、铝、铜及其合金）等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的重要技术之一。 　　2.真空镀膜设备在传感器方面的应用 　　在传感器中，多采用那些电气性质相对于物理量、高真空镀膜机化学量及其变化来说，极为敏感的半导体材料。此外，其中大多数利用的是半导体的表面、界面的性质，需要尽量增大其面积，且能工业化、低价格制作、因此采用薄膜的情况很多。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面, 它是以真空技术为基础, 利用物理或化学方法, 并吸收电子束, 分子束, 离子束, 等离子束, 射频和磁控等一系列新技术, 为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺. 简单地说, 在真空中把金属, 合金或化合物进行蒸发或溅射, 使其在被涂覆的物体( 称基板, 基片）上凝固并沉积的方法, 称为真空镀膜。根据镀膜对象常见的应用主要包含装饰镀膜, 刀具镀膜, 光学镀膜, 硅片镀膜等.。由于目前对 PVD 镀膜设备的清洁度, 镀膜层的质量, 所用材料等要求的不断提高, 传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染等原因已经无法满足工艺要求. 因此以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为镀膜市场的主流。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室的温度、空气中的微粒等周围环境的要求。安徽真空镀膜设备哪家强

真空镀膜设备需排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。安徽真空镀膜设备哪家强

真空镀膜的泵组选配时，主泵选择是一个关键点。主泵的选择不能只追求单一方面的指数，它必须根据使用条件考虑多项指标。通过实际镀膜生产过程所需的工作压力进行主泵的选择：此要求作为主泵选取的首要要点，由于真空室的工作压力一定要能够保证在主泵较佳抽速的压力范围中间，因此需要掌握主泵较佳抽速的压力范围，而主泵抽速是以工艺生产中放出的气量、所需工作压力、系统漏气量等因素决定。主泵的有效抽速计算涉及到真空室的要求工作压力以及真空室的总气量等因素。想要增大主泵的有效抽速就必须先增大流导，所以设计连接管道得短且粗，且管道直径一般要大于主泵入口直径。安徽真空镀膜设备哪家强

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