半导体洁净室设计的规划万级半导体洁净室装修洁净工程华业供
半导体洁净室的规划、建设过程都要寻求严谨性,我们每个细节都要考虑到,如果不遵守相关建设标准与办理请求,很难到达预期的洁净效果,这样会影响整个洁净室的应用效果!
洁净室周围应安静,空气洁净干燥,室外场所宽阔,并与锅炉房、生活区有必定间隔,室内应装有洁净空调体系,进入的室内的空气要消“毒和过滤。一切电气设备、通风、技术管道、照明灯等均应悉数嵌入夹墙内,避免积尘和粘附***。墙壁与房顶及地上衔接处均应砌成弧形,以便冲刷。室内面积不宜过大。
关于层流洁净室的保护有着十分严厉的请求,下面以平时办理方面为例,由科瓦特机电净化工程公司的小编来协助我们了解。
1.洁净工程净化空调系统应连续运行,且定期进行清洁维持工作。
2.层流洁净室的缓冲区域应设有明显的标识,各洁净区的门必须保证关闭状态,且进出门不可同时打开。
3.洁净工程洁净区内的温湿度应做好控制与维持工作,必须根据企业的实际生产需要来设置,一般情况下温度为22~25摄氏度,湿度为40%~60%。
4.洁净室必须维持于正压状态,且保证洁净工程洁净区应与非洁净区高于10pa。
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