随着硅片直径的增大,对硅片背面减薄的要求越来越高,但是旋转工作台磨削技术具有一定的局限性。1984年S.Matsui提出了硅片自旋转磨削法,并开始逐渐取代旋转工作台磨削。硅片自旋转磨削法采用略大于硅片的工件转台硅片通过真空吸盘夹持在工件转台的中心，杯形金刚石砂轮工作面的内外圆周中线调整到硅片的中心位置,硅片和砂轮绕各自的轴线回转,进行切入磨削.磨削深度t与砂轮轴向进给速度f,硅片转速凡的关系为:tw=HtZ。主要是消除粗磨时形成的损伤层，达到所要求的厚度,在精磨阶段,材料以延性域模式去除，江苏石头减薄机厂家,硅片表面损伤明显减小，江苏石头减薄机厂家。我们通过减薄机研磨的方式对晶片衬底进行减薄，江苏石头减薄机厂家，从而改善芯片散热效果。卧式减薄机是一款性价比很高的小型高精度研削设备。江苏石头减薄机厂家

晶圆制造工艺中，对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出很高要求，因此在几百道工艺流程中，不可采用较薄的晶片，只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片，通常在集成电路封装前，需要对晶片背面多余的基体材料去除一定厚度。这一工艺过程称之为晶片背面减薄工艺，对应装备就是晶片减薄机，在减薄过程中，晶圆由于表面中间和边缘的厚度不一致，在去除其中间厚度的时候会因为其强度不同，导致破裂，吸盘无法吸附，直接掉落工作台，变得碎裂，清理麻烦。江苏石头减薄机厂家蓝宝石减薄机砂轮的大小事根据蓝宝石减薄机直径大小来定，一般有150-170-210mm的规格。

立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺；适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工；使用Grinding工艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要；可以优化Lapping工艺的加工流程；可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。减薄机上蜡后平整度大于正负5um，我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。

卧式减薄机是一款性价比比较高的小型高精度研削设备，采用砂轮轴横卧的安装方式，手动装片，通过砂轮进给控制研削量。设备工作台可根据客户需求进行定制化，应用普遍。产品特点：1、功能周全：具有多段研削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求。2、操作简便：PC工控机系统，触摸屏操控，除手动上、下片外一键式自动完成减薄加工。3、兼容性好：可根据客户需求定制化各类工作台，满足各类半导体材料的研削薄化工艺。4、性价比高：保证加工成本合理优化。减薄机减薄后的衬底背后还存在表面损害层，从而影响成品率。

减薄机砂轮与硅片的接触长度,接触面积,切入角不变,磨削力恒定,加工状态稳定，可以避免硅片出现中凸和塌边现象。现在直径200mm以上的大尺寸硅片背面磨削(backgrinding)大都采用基于硅片白旋转磨削原理的超精密磨削技术。硅片背面磨削的工艺过程：硅片背面磨削一般分为两步:粗磨和精磨.在粗磨阶段,采用粒度46# ~ 500#的金刚石砂轮,轴向进给速度为100 ~ 500mm/min,磨削深度较大,般为0.5~11ITf1。目的是迅速去除硅片背面绝大部分的多余材料(加工余量的90%).精磨时,加工余量几微米直至十几微米,采用粒度2000# ~4000#的金刚石砂轮,轴向进给速度为0.5~10mm/min。蓝宝石减薄机目前以前已经有了两种机型、卧式蓝宝石减薄机及立式蓝宝石减薄机。江苏石头减薄机厂家

目前国外生产的减薄机具有高精度、高集成化、自动化、加工硅片大尺寸化、超薄化等特点。江苏石头减薄机厂家

设计合理、结构简单、操作灵活、成本低、效率高、不易产生粉尘的机场跑道中线除线减薄机。在机架后端设置有后轮安装架和小电机，小电机固定在电机罩上，后轮安装架下部安装有后轮，小电机的输出轴与小刀盘相连接，机架中部设置有电机固定架，电机固定架上左右对称安装有大电机，大电机的输出轴与大刀盘相连接，电机固定架外侧设置有沿着安装在机架上的轨道滑行的滚轮，电机固定架的左右两侧设置有吊架，机架的前端设置有前轮安装架，前轮安装架下部安装有前导向轮，机架下部设置有除渣罩，除渣罩内安装有贯穿机架的真空接管。江苏石头减薄机厂家

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