坂口电子机械（上海）有限公司的晶圆加工减薄机吸盘由网板、安装孔构成，网板为圆形结构，浙江多功能减薄机，网板上两个以上的网孔即为安装孔，安装孔和气管活动配合。网板的网孔呈均匀等距分布，浙江多功能减薄机，分布均匀。吸盘上还设有软胶垫，软胶垫和网板活动嵌合，软胶垫形状与网板等同，软胶垫厚度低于网板厚度。气管由海绵圈、底管，浙江多功能减薄机、支撑架组成，底管一端衔接有一个海绵圈，海绵圈正中间嵌有支撑架，底管和通气腔活动配合，海绵圈顶端面光滑。支撑架由圈状的弹线圈和经线垂直交叉形成的圈筒，弹线圈和经线材料本身具有一定地弹性。减薄机吸盘装置，其解决了脆性材料难磨削的问题，使用方便、安全。浙江多功能减薄机

蓝宝石减薄机，该减薄机包括磨轮、真空吸附头，磨轮连接于磨轮主轴上，被磨轮主轴带动旋转，磨轮主轴则固定在磨轮控制机构上，并连接于磨轮电机；真空吸附头连接于真空盘主轴，真空盘主轴固定工作台上，并连接于真空盘电机；磨轮、真空吸附头设置于工作台上，一工作室设置于工作台中部，磨轮、真空吸附头位置对应，且横向设置，均位于工作室中。本实用新型，通过对蓝宝石直接进行减薄，达到快速减薄的效果，进一步降低蓝宝石贴片的厚度，便于后续的研磨加工，能够极大提高蓝宝石的加工效率。浙江多功能减薄机减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。

液晶玻璃减薄机操作台的右端设有电动推杆，电动推杆活塞杆的端部与连接板的右侧面固定连接。利用电动推杆推动连接板，从而推动首先滑块顶部的夹具，对夹具上夹装的液晶玻璃进行工位的转移，转移至左侧立板的底部，对液晶玻璃进行刻蚀液的刻蚀，转移至右侧立板的底部，对液晶玻璃进行刻蚀后的清洗。支杆设有四个，且四个支杆均与直角梯形支座斜面相垂直。夹具包括固定设于支杆上的回字形框以及设于回字形框四个边角内侧的通过弹簧连接的直角夹板。利用直角夹板对液晶玻璃的四个角进行夹紧。立板顶部固定气缸的活塞杆的端部与第二滑块的顶部固定连接。利用气缸推动第二滑块下移，使得喷嘴以及导流板移至液晶玻璃右侧顶部，对液晶玻璃进行刻蚀以及清洗工艺处理。

集成电路制造工艺的发展对硅片等材料质量要求越来越严格，材料表面的波纹度及厚度只能通过减薄工艺来实现，因此减薄机成为必不可少的**设备，减薄机主要由工件吸盘、吸盘主轴及驱动器组件、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆导轨进给组件及其他辅助配件构成。目前市场现有吸盘可以分为电磁吸盘和真空吸盘，吸盘的大小根据需求定制。电磁吸盘利用磁通的连续性原理和磁场叠加原理设计。真空原理是由负气压变成零气压或正气压从而提升吸附产物的原理设计。全自动减薄机可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。

减薄机采用真空吸盘，硅片等脆性材料要求减薄厚度在微米之间，比较容易损坏，甚至可能在磨削过程中已经损坏，比较难磨削达到要求。并且硅片、兰宝石在磨削过程中产生热量比较小，它们本身自带散热性，而陶瓷片等不具有散热性或散热性比较小，片子磨削较薄，在磨削产生热量和冷却过程中，由于表面和内部产生温差，膨胀程度不同而形成过大的内应力，将会引起片子的变形和损坏，减薄的片子本身材料脆，厚度薄，比较难确保在厚度达标的情况下保证片子完好无损。减薄机采用手动装片方式，配置自动厚度测量和补偿系统，可自动研削至目标值。减薄机可让样品表面到达所需要的厚度，平整度，粗糙度。浙江多功能减薄机

蓝宝石减薄机丝杆进给组件采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式为伺服驱动。浙江多功能减薄机

蓝宝石减横机丝杆进给组件采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式为伺服驱动。由以上组件构成的蓝宝石减横机具有非常高精密的加工能力及双面平行度控制能力，它能加工工件厚度在5u以下的工件。并且不发生断裂、塌边、划痕等现象。蓝宝石减横机目前以前已经有了两种机型、卧式蓝宝石减横机及立式蓝宝石减横机，前者一般加工直接在200mm以内的工件，后者加工直径在300-500mm的工件。该种蓝宝石减横机，在目前LED蓝宝石生产线上，被公认为目前国内极好的减横机。浙江多功能减薄机

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