CVD管式炉使用注意事项： 　　1. 冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。 　　2. 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。 　　3，江西多温区管式炉高校**.CVD管式炉使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件 及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，江西多温区管式炉高校**，保持炉内的清洁。 　　4. 炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。马弗炉热加工，江西多温区管式炉高校**、工业工件处理、水泥、建材行业,进行小型工件的热加工或处理。江西多温区管式炉高校**

真空管式炉使用时应注意以下事项： 1、使用外壳时，接地线应接地。 2、在使用离心机之前，将其放置在稳固，坚固的地面上。 3、使用大气炉时，如果声音不正常，应立即关闭并检查和维修。 4、使用后，速度调节旋钮应旋转回“0”，然后停止。严禁在不停止和打开的情况下打开盖子。 5、电源打开后，电机不会转动：首先检查电源线，插头和插座。如果有任何损坏，应予以更换。如果没有问题，请检查波段开关或压敏电阻是否损坏或电缆是否断开。 6、振动严重，噪音大：检查是否存在不平衡问题，固定机的螺母是否松动。如果是紧的，检查轴承是否损坏或弯曲。如果有，更换轴承，机器盖板变形或位置不正确，如有必要，进行调整。内蒙古CVD管式炉研究所**CVD管式炉使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时。

真空管式炉的具体使用情况： 　　1、把热电偶通过偶孔插入，需要注意的是在热电偶和偶孔之间的缝隙要用石棉绳填塞，防止热量损失。 　　2、解开温度控制器的外壳，根据标准连接电源线、热电偶、电炉线以及安全开关线。因为控制器和电炉的中线是共用的，所以中线和相线不能接反了，还要注意热电偶连线的正反极也不能接反，否则的话仪表会不显示。 　　3、把温度指示仪的后端接线板上面的“短”和“短”直接的连线，调整到机械零点，如果使用补偿导线以及冷端补偿器的话，那么要把机械零位调整到基准温度点，在不能使用补偿导线的时候，则需要把机械零位调整到刻度零位，并且所指示的温度就是被测点和热电偶冷端的温度差。 　　4、在检查接线正确之后，盖上控制器的外壳，把温度指示仪的指针调到所需要的工作温度(也就是旋动指示仪面板下方的螺钉)，然后把电源接通，打开控制电源的开关，这个时候绿灯就亮了。继电器开始工作，电炉通电，电流表就有读数出现，温度指示仪指针也会慢慢的上升，这就说明电炉和温度控制器都在正常的工作。 　　5、真空管式炉的升温和定温分别是以红灯和绿灯表示的，红灯表示恒温，绿灯则表示升温。

马弗炉注意事项 1、当马弗炉一次使用或长期停用后再次使用时，必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温至200℃四小时，200℃至600℃四小时。使用时，炉温较高不得超过额定温度，以免烧毁电热元件。禁止向炉内灌注各种液体及易溶解的金属，马弗炉较好在低于较高温度50℃以下工作，此时炉丝有较长的寿命。 2、马弗炉和控制器必须在相对湿度不超过85%、没有导电尘埃、性气体或腐蚀性气体的场所工作。凡附有油脂之类的金属材料需进行加热时，有大量挥发性气体将影响和腐蚀电热元件表面，使之销毁和缩短寿命。因此，加热时应及时预防和做好密封容器或适当开孔加以排除。 3、马弗炉控制器应限于在环境温度0-40℃范围内使用。 4、根据技术要求，定期经常检查电炉、控制器的各接线的连线是否良好，指示仪指针运动时有无卡住滞留现象，并用电位差计校对仪表因磁钢、退磁、涨丝、弹片的疲劳、平衡破坏等引起的误差增大情况。 5、热电偶不要在高温时骤然拔出，以防外套炸裂。 6、经常保持炉膛清洁，及时清理炉内氧化物之类东西。箱式气氛炉可选择进口单设定点或40段可编程控制器。

箱式气氛炉 冷却部分 炉门采用循环式水冷。设有进出水接头。 电气部分 电气部分采用与炉体一体化结构，整个电气元件安装在炉体底部的一侧，结构紧凑、占用空间小。温控安装在炉体侧面板上，观察直观，调节方便，温控仪具有PID调节功能，可自动追踪设定较佳PID值，可任意设定测量分度密码，同时具备补偿功能，可使炉膛温度与显示值一致，控温方式：采用德国西门子技术，具有软启动、软关断、可控硅移相调压控制，0~98%输出可调节，面板上各种仪表开关等有相应的中文标牌。PECVD管式炉当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态。内蒙古CVD管式炉研究所**

PECVD管式炉的炉管内气压不可高于0.02MPa。江西多温区管式炉高校**

PECVD管式炉的主要特点： 1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好； 2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统； 3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。 4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力； 5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行； 6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离； 7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。江西多温区管式炉高校**

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