箱式气氛炉的使用方法 箱式气氛炉是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的，如气体渗碳，碳氮共渗及光亮淬火，退火，正火等。主要用途：高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验等。 箱式气氛炉的使用方法： 1、炉子使用或长时间不用后,要在 120℃左右烘烤 1 小时,在 300℃左右烘烤 2 小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度,以免损坏加热元件及炉衬。 2、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好,应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。 3、禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，珠海箱式气氛炉，珠海箱式气氛炉,保持炉内的清洁。 4、加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体，珠海箱式气氛炉。真空箱式炉可设置多条时间曲线，曲线总段数多达20段。珠海箱式气氛炉

立式炉是真空炉的一种,是在在真空环境中加热的一种设备.炉内加热系统可使用硅碳棒,硅钼棒等发热元件.一般主要用在陶瓷烧结,金属耐火材料冶炼,退火炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)h，该立式炉升温快、高节能、高精度、高稳定性、保温性能好。 立式炉结构 立式真空炉一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。 真空烧结退火炉是生产半导体器件和磁性材料烧结、退火工序中的重要设备。还适用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。江西CVD管式炉参考价PECVD管式炉对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。

CVD管式炉1.按温度高低的来分可分为：RGF1800型，RGF1700型，RGF1600型，RGF1500型，RGF1400型，RGF1300型，RGF1200型，RGF1100型，RGF1000型，RGF900型，RGF800型等。 2.按炉型大小来分可分为：RGF大型管式气氛炉，RGF中型管式气氛炉，RGF小型管式气氛炉，RGF微型管式气氛炉等。 3.按控温精度来分可分为：RGF精细智能一体式管式气氛炉，RGF精细式管式气氛炉，RGF标准式管式气氛炉等。 4.按管式气氛炉材质分为：RGF氧化铝管式气氛炉，RGF刚玉管式气氛炉，RGF石英管式气氛炉，RGF氮化硅管式气氛炉，RGF氮化硼管式气氛炉等。

箱式炉注意事项： 1． 送排气时，不得在炉门正面操作，以防喷火孔突然喷火伤人 2． 应经常用火把检验炉体各部位的泄漏情况 3． 原料气罐、气瓶周围严禁明火，应有防火、防爆、防触电等装置或灭火器材 4． 管路应该用浓肥皂试漏，严禁用火把、丙烷气在压力小于200kPa时使用，丁烷气压力在5kPa禁用 零件的清理、检验、装夹要求同井式炉渗碳基本相同，但还应注意下列几点： 1． 该种炉型渗碳无中间试棒，用控制炉气碳势和渗碳时间的长短来确定渗碳层深，终检试样同零件装在同一筐夹具中 2． 检查炉内电阻板，辐射管是否开裂变形，是否水平，炉内抗渗碳砖的完好情况，砖缝漏气情况 3． 淬火升降机构升降平稳、制动可靠，工件进出炉轨道畅通 4． 淬火油槽的油加热系统、循环系统、冷却系统正常。油量充足，油中不得有水和碳黑，油循环定向导板应将油流向料管 5． 吸热式气氛碳势（组分体积分数）应在0.8%以上（**0~-5ºC），氮基气氛中氮气体积分数大于98%，用净化后氮基气氛中氮气体积分数大于99.99%马弗炉热加工、工业工件处理、水泥、建材行业,进行小型工件的热加工或处理。

PECVD工作原理是什么？PECVD技术是在低气压下，利用低bai温等离子体在工艺腔体的阴极du上（即zhi样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，较终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。 在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。电炉对温度的调节不需过快，应逐档调节，以免电流过大烧坏碳棒及其它电气器件。天津箱式气氛炉操作规程

多温区管式炉炉膛若采用刚玉炉管，依据刚玉材料的物理性质，各温区的升﹑降温速率不宜过快（≤5℃）。珠海箱式气氛炉

箱式气氛炉 冷却部分 炉门采用循环式水冷。设有进出水接头。 电气部分 电气部分采用与炉体一体化结构，整个电气元件安装在炉体底部的一侧，结构紧凑、占用空间小。温控安装在炉体侧面板上，观察直观，调节方便，温控仪具有PID调节功能，可自动追踪设定较佳PID值，可任意设定测量分度密码，同时具备补偿功能，可使炉膛温度与显示值一致，控温方式：采用德国西门子技术，具有软启动、软关断、可控硅移相调压控制，0~98%输出可调节，面板上各种仪表开关等有相应的中文标牌。珠海箱式气氛炉

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