CVD管式炉1.按温度高低的来分可分为：RGF1800型，RGF1700型，RGF1600型，RGF1500型，RGF1400型，RGF1300型，RGF1200型，RGF1100型，RGF1000型，RGF900型，RGF800型等。 2.按炉型大小来分可分为：RGF大型管式气氛炉，RGF中型管式气氛炉，RGF小型管式气氛炉，河南真空箱式炉厂家**，RGF微型管式气氛炉等。 3.按控温精度来分可分为：RGF精细智能一体式管式气氛炉，RGF精细式管式气氛炉，河南真空箱式炉厂家**，RGF标准式管式气氛炉等，河南真空箱式炉厂家**。 4.按管式气氛炉材质分为：RGF氧化铝管式气氛炉，RGF刚玉管式气氛炉，RGF石英管式气氛炉，RGF氮化硅管式气氛炉，RGF氮化硼管式气氛炉等。管式炉在超温断偶报警及保护；充气异常；接地保护；短路保护等。河南真空箱式炉厂家**

高温炉的注意事项除了做实验外，不要停留在高温炉管区。 实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动，并查看是否有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。 处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。 石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。 避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。 **钾(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。 一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员(技术员等)。 请节约纯水用量。 破晶片、滤纸、棉花棒，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。 长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。 晶片进出炉口时，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。贵州多温区管式炉立式炉升温快、高节能、高精度、高稳定性、保温性能好。

多温区管式炉使用方法 使用惰性气体作为工作气体时 1. 接通工作气体气路，将旋转管式炉气体出口端连接机械泵。 2. 打开旋转管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。 3. 当旋转管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。 4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。 5. 逆时针旋动旋钮，缓慢打开旋转管式炉进气阀；密切注意旋转管式炉气压表，确认气压在0.08MPa以下（如气压高于0.08MPa，打开旋转管式炉出气阀放气）。 6. 旋转管式炉气压表当气压稳定时，关闭旋转管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关旋转管式炉出气阀。 7. 重复4、5步两次。 8. 关机械泵，打开旋转管式炉进气阀。

箱式气氛炉 应用范围 箱式气氛炉应用于适合各类大专院校实验室、工矿企业化验室，供化学分析、物理测定，以及金属、陶瓷的烧结和熔解、小型钢件等加热、焙烧、烘干、热处理用。炉体部分 编辑 炉膛采用莫来石聚轻砖砌筑，炉膛内上下用碳化硅棚板，炉内温度是加热元件在加热过程中经过碳化硅棚板传导（暗火加热），温度更均匀。炉壳密封。为提高密封垫的使用寿命在炉门口设有循环水冷套以降低密封处的温度。进气设炉膛底部，经加热腔预热后分多处进入炉内，排气经炉顶后部排出。保证炉内气氛均匀，减小炉内温差。气路上装有气体流量计，用于正常使用控制气氛流量。箱式炉炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱，炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温。

PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN 淀积在硅片表面形成减反射膜。 　　利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。 　　反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。PECVD管式炉对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。贵州多温区管式炉

PECVD管式炉在使用时气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好。河南真空箱式炉厂家**

CVD管式炉的安全使用：在关键部位安装有声、光警报装置和安全联锁保护装置，确保安全，其设备安全设施达到国家规定的安全标准，包括： （1）超温断偶报警及保护；充气异常；接地保护；短路保护等。 （2）炉盖关紧、真空度满足要求，方可启动加热。针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。 然后通人工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。河南真空箱式炉厂家**

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