光谱共焦位移传感器——STIL点传感器

CCS Prima、CCS Prima+

光谱共焦装置是一种光学装置，光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。

反向散射光由相同的光学系统收集，该光学系统在孔S’’处成像。

***被置于光电探测器的前面，它过滤可以到达光电探测器的光线，因此它也被称为“空间滤波器”。

共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理，光学系统是彩色光学头，光电探测器是一个光谱仪。

光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差：每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。

现在假设一个样本存在于色谱编码范围内，这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。

当反射（或后向散射）光束到达孔平面时，波长的光线会聚焦在孔上，

以便它们可以穿过孔并到达光谱仪的敏感区域。

其他波长成像为大点，因此它们被孔阻挡。

该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。

光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。

它呈现一个光谱峰值。

当物体在测量范围内位移时，光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。

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