真空塑料吸bai料机主动抽粒机也叫主动添du料机，在质料干燥机上面有个小料斗，zhi料斗由料斗，感应开dao关，机械式空气开关，过滤网，进料口，吸气口组成，吸气管，进料管。主机：首要是时间继电器操控该设备作息。组成部分：马达，过滤器，进气口，吸风设备，感应连接线和多组继电器作业原理是：当小料斗没有料的时候，机械空气开关会朝下坠翻开感应开关，当感应开关翻开后主机的继电器翻开让马达发动运转，马达运转带动抽风设备，开端经过空气过滤器到小料斗，在吸风的作用下机械式空气开关向上关闭出料口，形成小料斗真空，

   PECVD--等离子体化学气相堆积法bai为了使du化学反响能在较低的温度zhi下进行，利用了dao等离子体的活性来促进反响，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相堆积(PECVD).试验机理：辉光放电等离子体中：电子密度高(109~1012/cm3)电子气温度比一般气体分子温度高出10-100倍虽环境温度(100-300℃)，但反响气体在辉光放电等离子体中能受激分化，离解和离化，然后**前进了参与反响物的活性。因而，这些具有高反响活性的中性物质很简略被吸附到较低温度的基本外表上，发生非平衡的化学反响堆积生成薄膜。优点：基本温度低；堆积速率快；成膜质量好，***少，不易龟裂。

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