可以适用于较高防爆要求场合输送易dao燃、易爆物料。一同，由于只需运用不锈钢管和软连接，装置简洁，维修、维护都相当便当。（1、）不同的定位办法影响要素不同。如机械挡块定位时，定位精度与挡块的刚度和碰接挡块时的速度等要素有关。（2、）定位速度对定位精度影响很大。这是由于定位速度不一同，有必要耗散的运动部件的能量不同。一般，为减小定位误差应合理控制定位速度，如前进缓冲装置的缓冲功用和缓冲效率，控制驱动系统使运动部件适时减速。（3、）精度机械手的制作精度和装置调速精度对定位精度有直接影响。

   PECVD--等离子体化学气相堆积法bai为了使du化学反响能在较低的温度zhi下进行，利用了dao等离子体的活性来促进反响，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相堆积(PECVD).试验机理：辉光放电等离子体中：电子密度高(109~1012/cm3)电子气温度比一般气体分子温度高出10-100倍虽环境温度(100-300℃)，但反响气体在辉光放电等离子体中能受激分化，离解和离化，然后**前进了参与反响物的活性。因而，这些具有高反响活性的中性物质很简略被吸附到较低温度的基本外表上，发生非平衡的化学反响堆积生成薄膜。优点：基本温度低；堆积速率快；成膜质量好，***少，不易龟裂。

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