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    法兰螺栓联接CONHON提供不同型号扭力传感器的联轴器，结合实际的测试，CONHON也提供更多的快速联接方式。为了让客户方便的进行扭力传感器联接，CONHON还有许多不同的摩擦锁紧和防松锁紧设计，以减少纵向力、径向力、弯矩对扭力传感器的影响。安装扭力传感器和联轴器后必将会导致系统动平衡的改变，这在高速运行时可能会出现问题。尽可能的在准备运行之前的情况下调首先调整动平衡。四方头套筒联接CONHON扭力传感器的联接接头是遵照DIN3121标准设计的，这个标准所包含的规格主要涉及到机动套筒扳手转动四方头的规格，国际标准尺寸遵照ISO1174-2的标准。目前可用的联接有F外方头，G内方头，H内方头，并且同时带有销钉孔。这些方头都是锁定联接，因此它们不适合扭力方向发生改变的扭力测量。。

    (一)要解决的技术问题本发明的主要目的在于提供一种压力传感器制备方法，实现室温下的硅硅键合，消除了键合过程中高温处理给器件带来的影响，提高器件的可靠性。(二)技术方案本发明提供了一种压力传感器制造方法，该方法包括：对si衬底进行预处理；对进行预处理后的si衬底正面进行注入掺杂；对注入掺杂后的si衬底进行金属布线；对完成金属布线后的si衬底进行背面光刻刻蚀，得到感压膜片；进行硅硅室温键合，将具有感压膜片的si衬底与另一si衬底实现原子尺度的紧密结合。上述方案中，对si衬底进行预处理，包括：在si衬底正面干氧氧化一层sio2，之后再淀积一层sin，然后干法刻蚀掉正面的sin层，然后湿漂正面sio2层。上述方案中，对进行预处理后的si衬底正面进行注入掺杂，包括：对si衬底正面热氧化，之后进行p-光刻注入；在完成p-光刻注入的si衬底正面进行n+光刻注入；在完成n+隔离区的si衬底正面进行p+光刻注入；对注入掺杂后的si衬底进行高温推阱操作，实现注入离子的均匀掺杂，再用缓冲氧化物刻蚀液去除注前氧化层。其中，对si衬底正面热氧化，之后进行p-光刻注入，包括：对si衬底正面热氧化，之后在si衬底正面光刻p-压阻图形，注入b离子形成p-压阻区，去除表面上的光刻胶。

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