洁净室温湿度控制

       洁净室的温湿度主要根据工艺要求确定，但在满足工艺要求的条件下，要考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高，对温度和湿度的要求越来越严格。

       净化工程温度的具体要求将在后面列出，但作为一般原则，随着加工精度的提高，对温度波动范围的要求会越来越小。例如，在大规模集成电路产生的光刻曝光过程中，玻璃与硅片作为掩模材料的热膨胀系数差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，江苏工业空气净化设备，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值较低，江苏工业空气净化设备，江苏工业空气净化设备，因为人出汗以后，对产品可能有污染，特别是钠的半导体车间，这种车间不应超过25度。

噪声

测量高度距离地面约1.2米，洁净室面积在15平方以下者，可只测室中心1点;面积在15平方米以上，还应再测对角4点，距侧墙各1米，测点朝向各角。

照度

测点平面离地面0.8米左右，按2米间距布点，30平方米以内的房间测点距边墙0.5米，超过30平方米的房间测点距离墙面1米。

检测标准：

(1) 《洁净厂房设计规范》GB50073-2001

(2)《医院洁净手术部建筑技术规范》 GB 50333-2002

(3)《生物安全实验室建筑技术规范》GB 50346-2004

(4)《洁净室施工及验收规范》GB 50591-2010

(5)《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》GB/T 16292-2010

(6)《医药工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》GB/T 16293-2010

(7)《医药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》GB/T 16294-2010

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