考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵在安装时有哪些要求真空泵是常见的真空设备，那么，真空泵在安装时有哪些要求呢?真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，山西循环水式真空泵，便会使真空装置得到较好的真空度。真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用，山西循环水式真空泵。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，山西循环水式真空泵，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。

    一般在30%左右，较好的可达50%。真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液，可达130Pa。封液循环、污染。湿式泵：旋转叶片泵转子在有柱状膛孔的定子内。转子有两个叶片在槽中反向滑动。当转子运转时，叶片端与油润滑定子壁接触。每转一次为两个泵吸循环—比较小的不平衡力。优点缺点极限压力好噪声小应用范围广油封液污染对腐蚀很敏感维修费用高抽速范围受到限制不适于抽除含氧过高、有性、对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。湿式泵的主要问题：密封液体供应，污染，废水处理，腐蚀，蒸汽压力限制（特别是液环泵），可靠性，运行成本。3、干式泵干式抽真空：没有工业生产液流的污染；深度真空，运转更灵活；无废水，无污染，（较少或）无废弃物处理费用；维修成本较低；在泵排放口立即回收溶剂；消耗水、电、气等费用较低→运行成本较低。技术对比：干式泵的成本投资成本较高，但较低的运行成本。延长维修服务间隔时间和轴承寿命。在运转范围内，电力消耗较低。因此，在容能比（M3/hr/kW）方面节能效果更好。无受污染的油要进行处理（除了齿轮箱以外）。

  往复式真空泵1×105～×102旋片式真空泵1×105～×10-1液环式真空泵1×105～×103罗茨式真空泵×103～水蒸气喷射泵1×105～×10-1油扩散泵×10-2～×10-7钛升华泵×10-2～×10-9真空泵的规格及型号表示法：国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S)。国产真空泵型号对照表型号名称型号名称W往复式真空泵H滑阀式真空泵WY移动阀式往复泵YZ余摆线真空泵WL立式往复泵ZJ罗茨真空泵SZ水环泵X旋片式真空泵SZB悬臂式结构水环泵F分子真空泵SZZ直联式水环泵XZ直联式旋片泵常用真空泵技术蒸汽喷射泵湿式泵（液环真空泵、旋转叶片泵）干式泵（罗茨泵、螺杆泵、爪式泵）1、蒸汽喷射泵喷射真空泵工作原理：蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。

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