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1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁； 2、一般镀膜速率较慢，每秒几十埃； 3、不适宜制备较大面积薄膜。 三、机器运行时的注意事项 1、关注真空度指标； 2、保持机器内舱各部位的清洁； 3、测试并记录镀好的石英振子主要指标，如：频率、电阻、DLD等； 4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度； 5、根据镀出石英振子的散差，调整遮挡板的各部尺寸； 6、检查并记录抽真空的时间，如有延长，立刻检查造成的原因； 7、将不良品挑出：电极错位、划伤、脏污、掉银等。

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