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石英玻璃的深加工是指将石英玻璃原料(管状、棒状、片状、块状)加工成用户需要的石英器件,在加方法上分为冷加工和热加工两种形式。下面为使用玻璃的冷加工详细介绍。 冷加工主要包括切割、研磨、抛光三种: 1、切割:主要是采用金刚砂锯片、金刚石锯片切割石英管或石英片。多刀切割机、线切割机,主要用于石英碇、石英块料切割。激光切割机、内圆切割机,主要用于切割导行板材。 2、研磨:平面磨盘、单轴、双轴抛光机,分粗磨:Hcp在10~20μm光洁度▽2.平面铣床、多功能铣床,细磨:Hcp在6.3μm光洁度▽6.钻床、车床、内园、外园磨床,粗磨:Hcp在6μm以下▽7. 3、抛光:多轴抛光机:Hcp<λ,即0.5μm以下。①粗磨的目的是成型,使加工件具有一定的几何形状。用散粒磨料或结合磨料加工石英玻璃表面后,其表面不平度Hcp10~20μm,▽2.粗磨有的用散粒磨料在磨盘上手工磨,或用结合磨料机械磨。散粒磨料有绿SiC色(金刚砂)和电熔白刚玉等几种;用60#~12#电熔刚玉砂可达到▽2.结合磨料有SiC树脂,金刚石磨轮。粗磨较好在平面磨床或铣床上用结合磨料进行。②、细磨:目的是改善表面的粗糙度,使被加工件获得接近完工的几何形状,为抛光打下基础,用散料磨料研磨表面。
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