氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。杭州客制化氦质谱检漏仪注意事项

在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作，由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂，内部有很多管道和传动机构，有的体积很大，达几十立方米，甚至数百立方米，连接管道和内部管道的总长度可达几公里，焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里，必须投人很大力量对设备严格进行检漏，所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏问题就可能给氦质谱检漏仪，氦检仪的检漏工作带来很大困难。杭州客制化氦质谱检漏仪注意事项氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。

在针对氦检仪选择和安装真空计时，必须考虑其特性和真空测量的特性：由于真空室中存在潜在的压力梯度，恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短，且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应，因此指示的压力低于真空室中的实际压力。冷阴极真空计具有固有的溅射效应，这在中真空范围内与重型气体（如氩）一起抽空时尤为明显。这可导致不一致和不准确的读数。当烃类存在时，电离真空计受到有机分子分解产物的污染。如同溅射效应一样，读数可以干燥扰或不一致。必须选择电离真空计的开关点，以避免因上述现象导致的污染。强磁场和电场会影响真空计的性能。尤其对于电离真空计而言。为能够产生超高真空，必须对真空设备，包括真空计进行烘烤。必须遵守技术要求中规定的蕞大烘烤温度和条件。

氦检仪怎么选择适合的检漏方法？氦检仪的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法），可以发现有不同的叫法，这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。负压法（喷氦法）。对被检工件抽真空。可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦。可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵。可检测工件的具体漏点和准确漏率。检测精度高。适用行业：镀膜行业，真空炉，真空配件，真空阀门，压力容器，真空系统等。氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。

氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。杭州多功能氦质谱检漏仪多少钱一台

氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用。杭州客制化氦质谱检漏仪注意事项

氦检仪灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。产品普遍应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不只灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦检仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有氦检仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。杭州客制化氦质谱检漏仪注意事项

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