氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。氦检仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。嘉兴推车式氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。无锡客制化氦质谱检漏仪生产厂家氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。

随着汽车行业的迅猛发展，汽车空调行业对氦检的需求越来越大，对氦检的性能指标要求越来越高。氦检仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时，更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦检仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦检仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用氦检仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

氦检仪应用于调节阀气路管道检漏：调节阀又名控制阀，在现代化工厂的自动控制中，调节阀起着十分重要的作用，如果调节阀有漏，将会严重影响设备运行，进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。调节阀检漏，阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气，如在被检测处如阀杆等，用氦检仪正压法检测，正压法检测的精度可充分满足气密性检测要求。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏,检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同时需要提供快速,清洁的检漏环境.采用氦检仪正压法模式,即在密封的气体管路中充入一定量的氦气,然后进行检漏.氦检仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。温州台式氦质谱检漏仪品牌推荐

专业用于电厂检漏的氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。嘉兴推车式氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。嘉兴推车式氦质谱检漏仪工作原理

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