氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。常州分体式氦质谱检漏仪生产厂家

氦检仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦检仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。氦检仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦检仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用。氦检仪质量范围很宽，不只可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不只解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。常州智能氦质谱检漏仪品牌推荐氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。

氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标：1.可检漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.启动时间：≤5min；4.响应时间：≤1s；5.检漏口的压力：1500Pa；6.电源要求：220v，50Hz，单相，10A；7.工作环境：5-35℃；8.相对湿度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A。

氦检仪常用的几种检漏方法：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。氦检仪的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法）。

氦检仪测量数据处理：漏率示值误差，①漏率的温度修正，标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦检仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:方法一:将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；方法二:将标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。浙江小型氦质谱检漏仪厂家推荐

氦质谱检漏仪适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。常州分体式氦质谱检漏仪生产厂家

氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。常州分体式氦质谱检漏仪生产厂家

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