配气准度要求以配气允差和分析允差来表征;比较通用的有SE2MI配气允差标准,但各公司均有企业标准。组分的**低浓度为10-6级,组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法,然后用色谱分析校核,也可按标准传递程序进行传递。3、电子气体(Electronicgases):半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4_6m+p-_4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。4.外延气体(Cpita***algases):在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉。成都二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川一氧化氮标准气体现货
所以渗透率也随温度改变而改变。因此,在测定渗透率时,必须将干燥瓶放入恒温水浴中,温度控制精度要达到±011℃。在恒温放置过程中,每隔一定的时间(至少12小时)用精密天平快速称量渗透管一次(必须在10分钟内称完),相邻两次的重量差就是渗透管在该时间段的渗透量。测出渗透量后,就可用下式求出该渗透管的渗透率。740)">式中:G:渗透率(Lgömin);△G:相邻两次称量的重量差(mg);△S:相邻两次称量的时间间隔(min);实际测定时,记录一系列称量和时间数据,用上式计算渗透率并求其平均值。或以称量数据为纵坐标,时间为横坐标,绘制渗透率的特性曲线,所得直线的斜率即为渗透率。(2)渗透管动态配气装置用已知渗透率的渗透管配制标准气体的装置如图6所示。740)">将渗透管放在气体发生瓶中,再将气体发生瓶放入恒温水浴中,恒温水浴的温度要与测定渗透率时的温度相同(一般为25±1℃),这样就可不作温度校正。稀释气(压缩空气)经**、活性炭和氢氧化钠净化器2除去水分和杂质后,再经流量控制阀和流量计3进入气体发生瓶7(即混合器)中,将渗透出来的气体分子带出,就得到标准气体。标准气体的浓度可由下式求出(在25℃和一个大气压下)。740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm)。成都便携式气体批发气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
**经济基本都保持着两位数的增长,即便受到**金融危机的影响,2009年GDP也能保持8%以上的增长,2011年也达到9%以上。经济的增长会带来很多好处:首先,经济的发展给企业带来了蓬勃发展的机会,企业便会创造更多的利润,使企业有能力进行投资;其次,经济的快速发展必然带动相关产业的投资。经济的发展更使气体产业受益匪浅,气体相关产业扩大投资,必然要增加对气体的需求。所以说经济快速增长时期,也是进***体投资的**好时机。随着**经济的快速发展,作为国民经济基础工业要素之一的工业气体行业,在国民经济中的重要地位和作用日益凸显。2000年后,工业气体行业进入快速发展阶段,庞大的市场需求为**气体行业带来广阔的发展空间,未来我国工业气体行业将继续保持快速发展趋势。预计未来5年期间,**工业气体市场将保持至少11%的增长率,工业气体的应用领域十分***,传统行业主要为钢铁、化工,新兴的应用领域包括金属加工、煤化工、玻璃、电力、电子、医疗、公路养护、食品饮料等各行各业。2008年,钢铁、化工两个行业的占比为57%,有色以及其他行业对氧气的应用相对分散,总共占比为43%。到2015年。钢铁、化工两个行业的占比将下降到47%,而其他行业上升到53%。
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CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases):在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。便携式气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都二氧化氮标准气体厂家有哪些
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标气、标准气体标准气体(标气)(Standardgases)引气体工业名词,标准气体(标气)属于标准物质。标准物质是高度均匀的,良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现,保存和传递量值的基本作用,在物理,化学,生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值,进行量值仲裁等。科的公司标准气体(标气)优势:拥有11项标准物质证书;《多组分低浓度高活性气体标准物质的研发》项目获**科技创新基金支持。侨源气体股份有限公司有着有长期服务于石油石化等大型企业的经验;长期为各地质检、环监、计量第三方认证机构供应标准物质。齐全的检测生产设备:德国赛多利斯高精度称、气体纯化净化设备,气瓶处理设备、气相色谱仪、红外分析仪、氧分析仪、露点仪、氮氧化物分析仪、氯气分析仪等。保障配制标准气体的精度及稳定性。有自主知识产权的气体的合成与净化技术,保障配制标准气体(标气)的原料气的纯度。同时也可提供电子级纯度的高纯气体,提供给半导体及光伏行业应用。四川一氧化氮标准气体现货
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