本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术：目前，真空设备，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等离子体增强化学气相沉积）和pvd（physicalvaporde****ition，物宝来利相沉积）设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中，如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室，传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内，这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭，容易造成工艺环境污染。另外，设置单个反应腔室时，由于工艺反应区域较大，容易造成工艺所需原料的浪费，同时，还会造成工艺反应过程中温度波动大，不可控因素较多，从而影响工艺过程。技术实现要素：本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室，以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种真空反应腔室，包括：用于提供真空环境的外腔体。 宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，板材镀膜，有需要可以咨询！江苏1200真空镀膜设备

眼镜镜片镀膜案例：依视路、蔡司等眼镜镜片品牌使用真空镀膜设备。除了增透膜外，还会在镜片上镀抗反射膜、抗磨损膜和防污膜等。如通过化学气相沉积（CVD）方法，在镜片表面沉积二氧化硅（SiO₂）等材料形成抗磨损膜，增强镜片的耐磨性，延长镜片使用寿命。抗反射膜则能减少镜片反射的眩光，让佩戴者视觉更舒适。一些品质镜片还会采用疏水疏油的防污膜，使镜片表面不易沾染灰尘和油污，保持镜片清洁。

光学滤光片制造案例：在光学仪器如光谱仪中，需要使用各种滤光片来分离特定波长的光。例如，通过真空镀膜设备采用多层膜干涉原理制造窄带滤光片。利用 PVD 的溅射镀膜技术，交替溅射不同折射率的材料（如二氧化钛（TiO₂）和二氧化硅（SiO₂）），形成多层薄膜结构。这些滤光片能够精确地透过特定波长范围的光，对于光谱分析、荧光检测等光学应用起到关键的筛选和过滤作用。 浙江手机真空镀膜设备生产企业宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，光亮、美观，有需要可以咨询！

BLL系列真空离子镀膜机是当今世界上用于表面涂装PVD膜层的**宝来利设备，运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作，设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话，简便，镀出的膜层牢固且细密，是工业化生产的理想设备，其比较大特点是它的**性，真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备，无须**部门审批。由于配有**的电器控制系统及稳定的工艺界面,针对各种金属进行表面镀膜.例如:钟表行业(表带、表壳、表盘等)、五金行业（卫生洁具、门把手、拉手、门锁等）、建筑行业（不锈钢板、楼梯扶手、立柱等）、精密模具业（冲棒标准件模具、成型模具等）、工具行业（钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、刀头）、汽车工业（活塞、活塞环、合金轮毂等）以及钢笔、眼镜等等，使其表面得到既美观又耐磨的功能性磨层.主要镀制的膜层有:离子金、离子银、氮化钛膜、碳化钛膜、氮化锆膜、钛铝合金膜、氮化铬以及RP镀等超硬功能性金属膜，经离子镀膜加工后的工件，可以提高硬度、耐磨度，抗腐蚀和美化的作用。可镀制颜色有钛金系列、锆金系列、拉丝系列、黑色系列、彩色膜层系列共十多种色系。PVD多弧离子镀原理是把真空弧光放电技术用于蒸发源的技术。

如图3所示，所述温控装置包括温控管40，所述温控管40连接位于外腔体10外的恒温控制器41。温控管40的引入口及引出口与外部的恒温控制器41连接，恒温控制器41可用于恒温制冷也可用于恒温加热，保证内反应腔20中的温度可以持续恒定，从而使工艺反应区域内的工艺环境温度更稳定。经过在真空镀膜设备上的实际应用验证，该真空腔体对于工艺成膜质量及镀膜均匀性均有十分有效的改善和提升。其中，温控管40包括加热管和/或冷却管。一般情况下，在工艺反应过程中，通常需要升温以完成相关的工艺反应，因此，温控管40包括必要的加热管，而冷却管可以根据实际的工艺需要选选择性地添加即可。例如，若在工艺反应过程中，需要进行快速降温，此时可以设置冷却管。所述加热管非限制性地例如可以为电加热管、水加热管或油加热管。冷却管例如可以为水冷却管或油冷却管。为了增加温控效果，第二侧壁22和第二底板21处均设有温控管40。其中，所述温控管40缠绕于所述第二侧壁22的外部，且所述温控管40铺设于所述第二底板21的底部。除上述缠绕方式外，还可以用埋设的方式铺设加热管，例如，所述第二底板21内和所述第二侧壁22内均设有用于穿设温控管40的通道，所述温控管40埋设于所述通道内。 品质光学镜片真空镀膜设备，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！

溅射镀膜：溅射镀膜是在真空室中通入惰性气体（如氩气），通过电场使气体电离产生离子，离子轰击靶材，使靶材原子溅射出来沉积在基底上。这种方式的优点是可以在较低温度下进行镀膜，适合对温度敏感的基底材料。而且通过选择不同的靶材和工艺参数，可以制备多种材料的薄膜，如金属、合金、化合物薄膜等。

CVD 特点：CVD 过程是将气态前驱体引入反应室，在高温、等离子体或催化剂作用下发生化学反应生成薄膜。它可以制备高质量的化合物薄膜，如在半导体工业中，利用 CVD 制备氮化硅（Si₃N₄）、氧化硅（SiO₂）等薄膜。CVD 的优点是可以在复杂形状的基底上均匀地沉积薄膜，并且能够通过控制前驱体的种类、浓度和反应条件来精确控制薄膜的成分和结构。 宝来利PVD真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！浙江手机真空镀膜设备生产企业

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以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；所述内反应腔的侧壁上设有自动门，所述自动门连接自动门控制器，工件自所述外腔体经所述自动门进入所述内反应腔中。进一步地，所述外腔体包括宝来利真空底板和沿所述宝来利真空底板周向设置的宝来利真空侧壁；所述内反应腔包括第二底板和沿所述第二底板周向设置的第二侧壁；所述宝来利真空底板与所述第二底板相互分离设置，所述宝来利真空侧壁与所述第二侧壁相互分离设置；所述宝来利真空侧壁与盖设于所述宝来利真空侧壁上的密封盖板密闭连接，所述第二侧壁与所述密封盖板相互分离设置。进一步地，所述自动门设置于所述第二侧壁上，所述外腔体内设有传送装置，所述工件自所述传送装置经所述自动门传递至所述内反应腔中。进一步地，所述第二底板和/或所述第二侧壁上设有用于对所述内反应腔进行控温的温控装置。进一步地，所述温控装置包括温控管，所述温控管连接位于外腔体外的恒温控制器。进一步地，所述温控管包括加热管和/或冷却管。进一步地，所述加热管包括电加热管、水加热管或油加热管；所述冷却管包括水冷却管或油冷却管。进一步地，所述温控管缠绕于所述第二侧壁的外部，且所述温控管铺设于所述第二底板的底部。 江苏1200真空镀膜设备

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