什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。马波斯测量科技光谱共焦传感器处理值得用户放心。上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例
什么是静态噪声?静态噪声(StaticNoise,简称SN),位于测量范围中心、完全静态的样品测得的噪声级别的RMS。我们的参数表给出了两个SN值:一个没有时间平均值,另一个时间平均值为10。这是比较大可接受值。校准后立即测量每个传感器的SN,并在校准证书中指定。该参数决定了传感器的轴向分辨率。什么是测量精度?测量精度,是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。校准后,此参数立即如下条件下测量:优化率,倾斜角度=0°,时间平均=测量频率/10,采样步数至少为100。对于“自适应LED”模式的传感器,此模式已启用。精度对于传感器和校准台的短期重复来说是个良好指标。表中的数值为比较大可接受值:每个传感器的准确度在校准后立即测量,并在校准证书中指示。测量精度,是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。上海光谱共焦传感器原理马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,欢迎新老客户来电!
医疗行业随着社会发展,越来越多行业对微观物体表面形貌观测的要求也越来越高,与生命健康有着**紧密关系的医学行业就是其中之一。但由于普通显微镜的固有特性,只有聚焦区域内的图像成像清晰,非聚焦区域内侧图像成像模糊。因此普通显微镜无法实现在同一景深中对物体表面形貌的全聚焦,更不能重构其三维结构。但是,利用光谱共焦技术,可以实现显微物体三维形貌的重构。看如下司逖光谱共焦传感器在医学领域的应用:人类皮肤测量人类牙齿测量眼部植入剂
在半导体行业应用:LED芯片三维测量LED晶圆光学检测BGA半导体封装光伏晶圆表面形貌测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件,即使它们位于移动产线上、在高温环境中,甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少,因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此,对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用,它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟,具有高度重复性。这样可以控制高达100%的涂层部件,严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,有想法的可以来电咨询!
光谱共焦技术的非接触测量Irix?是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。Irix?可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量汽车挡风玻璃质量控制, 大工作距离和大景深的点传感器适用于车间环境,对3D形状、轮廓、HUD的多层厚度测量。上海非接触式传感器解决方案
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Irix?彩色共焦技术?适用于多种应用领域:汽车玻璃玻璃容器与包装工业电子工业(PCB)半导体工业(硅片)用于测量卷对卷、透明和非透明薄膜(例如EV电池盖)的应用3C行业电动汽车工业(电池)机器人学微观力学医学航空手表用于轮廓测量的倾斜角度高达±45°的光学元件用于缩小尺寸设备的缩小直径为4毫米、6毫米和8毫米的光学元件7“集成显示器,具有易于使用的实验室用图形界面2个同步通道,用于卷对卷应用中的非透明目标厚度测量同步测量与编码器精确轮廓重建。3个编码器输入(TTL和HTL型号)2个模拟输出(0÷10V)多达32个校准图以CSV格式保存数据上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例
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