全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测。可预设多条Recipe，操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 芯梦设备操作简单，维护方便，降低你的使用成本！安徽附近清洗机设备展会

江苏芯梦半导体有限公司JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护，并先后获得了国家高新技术企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在独角曾企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。安徽附近清洗机设备展会我司设备操作简单，维护方便，降低你的生产成本！

晶圆盒清洗机包括

FoupCleaner；

Xtrim-FC-M300/400高速型；

FouPCleaner；

Xtrim-FC-H300水平机

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction：

产品介绍：

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness；

在清洗机行业超25年经验；

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou；

在上海，苏州有完善的服务和销售团队

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners；

自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗；

SEMI S2认证；

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。我司设备设计精巧，功能齐全，助你实现生产多样化！

清洗晶圆盒的方法通常涉及以下几个步骤：检查：首先，需要对晶圆盒进行检查，确保没有损坏或者异物残留在盒内。去除大颗粒物：使用气体或者其他工具去除晶圆盒表面的大颗粒物，如灰尘、碎屑等。清洗：将晶圆盒放入清洗设备中，使用超声波清洗或者喷淋清洗等方法，利用清洗溶液或者去离子水对晶圆盒进行彻底清洗。漂洗：清洗后，需要对晶圆盒进行漂洗，以确保清洗溶液或者去离子水完全去除。干燥：将晶圆盒放入干燥设备中，使用热风或者氮气等方法对晶圆盒进行干燥，确保盒内干净并且没有水分残留。芯梦半导体专注品质，从不将就！四川整套清洗机设备展会

芯梦设备采用高效节能技术，助你节约能源开支！安徽附近清洗机设备展会

清洗机通常配备直观的用户界面和操作控制面板，使操作人员能够轻松控制和监测清洗过程。FOUP清洗机还注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构，确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置能够确保操作人员的安全。此外，清洗机通常具有数据记录和追溯功能，方便对清洗过程进行监控和分析。综上所述，FOUP清洗机是半导体制造领域中不可或缺的设备，通过高效、自动化的清洗过程，确保FOUP内外的高纯度和可靠性，为晶圆生产提供重要保障。安徽附近清洗机设备展会

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