在整个真空渗碳工艺过程中，首先会将零件合理的摆放并装炉，这样可以有效地减小工件变形的概率，还能够提高零件的淬火和渗碳质量，避免渗碳不均匀的情况。零件放进真空炉之后，会用机器将真空炉抽成真空，紧接着就是加热，加热到一定温度并且要让其受热均匀。之后注入甲烷或者乙炔气体，气体在高温下会分解出活性碳原子，这些碳原子会扩散开来，然后被吸附到工件表面。脉冲式渗碳是真空渗碳所采用的主要方式，也就是每隔一段时间做一次渗碳，有了一定的间隔时间可以让渗碳扩散的更充分。然后再经过几小时的保温和降温，就完成渗碳工艺。真空低压渗碳处理后的零件表面洁净，无需进行额外的清洗步骤。苏州真空低压渗碳条件

低压渗碳工艺，通入低压真空渗碳炉内的渗碳气氛(C2H2)在炉内裂解后形成C+H2，使得加热渗碳室内的“碳”处于饱和状态，并用碳富化率F(mg/h·cm2)来表达。当工件的表面积小于其临界值，C2H2的流量一定时，F值是恒定不变的；而当C2H2的流量大于其临界值，并且工件的表面积一定时，F值也是定值。因此，渗碳过程可用温度、时间、C2H2和N2的流量及压力4个参数进行控制。渗碳和扩散过程中，压力保持在70～2000Pa之间。低压渗碳是由交替地通入渗碳气体和中性气体的过程组成的。每次渗碳后，工件表面的“碳”将向工件内部扩散。发动机零件低压渗碳行价钢材低压渗碳可以提高其强度和韧性，适用于各种机械零件的加工。

真空渗碳的工艺过程：1、渗碳零件的清洗主要是为了防止污染真空淬火油和真空泵。若只有油污，可以不清洗。不能有灰尘、杂物、切削液等杂质。2、上工装。选取合适的工装，采用合适的装炉方式，可以有效的减小工件变形，提高零件的淬火质量。避免因为工装的原因造成局部淬火不均匀。3、装炉。工件进冷室，冷室抽真空，打开隔热门，工件转移至渗碳热室（真空渗碳气淬炉无需转移），准备加热。4、加热。制定工艺时依据装炉量和工件形状选取合适的升温速度，尽可能采用分段加热、保温，使所有工件匀温。5、渗碳。真空渗碳是采用脉冲式渗碳。比如先渗碳三分钟，然后扩散8分钟，再渗碳三分，扩散8分，以此类推。整个工艺有若干段组成。段数，渗碳温度，时间决定渗碳层深度。6、降温保温淬火工艺结束后淬火操作和普通真空设备操作方式相同。需要二次淬火的，采用降温保温正火，之后高温回火，再加热淬火。真空渗碳油淬炉，冷室具备油淬和气冷功能。气冷压力2bar，冷速略大于正火。真空渗碳气淬炉具备高压高压气淬炉的所有功能。

从动锥齿轮，材料16MnCr5，热处理技术要求：表面与心部硬度分别为680～780HV30和320～480HV30，有效硬化层深度（硬度510HV1）为0.5～0.8mm。1)工艺。渗碳温度950℃，加热和均温时间50min；渗碳时间9.25min；扩散时间49.75min；淬火介质为高纯度氮气；淬火压力1.5MPa；淬火时间15min；回火温度150℃；回火时间3h。2)检验结果。表面与心部硬度分别为720～729HV30和350～356HV30；齿面有效硬化层深度为0.64mm (550HVl)；齿面金相组织为碳化物（1级）+残留奥氏体（2级）+马氏体(2级)，无明显的非马氏体组织；热处理变形：外平面平面度<0.05mm，内平面平面度<0.10mm，内孔圆度<0.05mm。减速箱低压渗碳可提高齿轮的传动效率和承载能力。

低压渗碳原理：渗碳与其他化学热处理一样，也包含3个基本过程。分解→吸附→扩散，分解：渗碳介质的分解产生活性碳原子。吸附：活性碳原子被钢件表面吸收后即溶到表层奥氏体中，使奥氏体中含碳量增加。扩散：表面含碳量增加便与芯部含碳量出现浓度差，表面的碳遂向内部扩散。碳在钢中的扩散速度主要取决于温度，同时与工件中被渗元素内外浓度差和钢中合金元素含量有关。因此渗碳被普遍用以提高零件强度、冲击韧性和耐磨性，借以延长零件的使用寿命。齿轮零件、机器部件和发动机喷射系统经常采用低压渗碳工艺以提升性能。上海铝低压渗碳方法

气体低压渗碳工艺操作简单，能够满足不同材料的渗碳需求。苏州真空低压渗碳条件

淬火工艺。淬火工艺主要分为“快一慢一快”三个过程∶（1）快 让工件表面避开TTT曲线鼻尖，不产生中间转变组织（贝氏体或珠光体）。（2）慢 让工件表面和心部温度的温差尽量减小，在表面已完成马氏体转变的同时，控制心部马氏体的量（尽量转变成贝氏体），减少淬火畸变。（3）快 让工件尽快冷却至室温，完成整个淬火过程。根据自身的经验，采用改变淬火压力和时间的方式实现分级淬火，通过风扇搅拌的大小来控制冷却速度，从而实现上述淬火过程。苏州真空低压渗碳条件

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