灌装设备之蠕动泵：蠕动泵（PeristalticPump）又称软管泵，是一种新型的工业用泵，主要由三部分组成：驱动器，泵头和软管。流体被隔离在泵管中，可快速更换泵管，流体可逆行，可以干运转。蠕动泵就像用两根手指夹挤充满介质的软管，随着手指向前滑动，管内形成负压，介质也随之向前移动。蠕动泵和软管泵正是利用这个原理，只是由滚轮或压靴取代了手指，依靠数个滚轮通过对弹性软管交替挤压和释放来泵送流体。驱动器是实现蠕动泵功能的控制部分，一般由电机（步进，伺服）、驱动、控制板、电源等组成。泵头是完成流体输送的机械装置，实现连续挤压软管的功能，一般由上压块、支撑、泵壳、滚轮装置组成。其中，上压块主要用于压紧软管；支撑和泵壳主要用于固定滚轮装置；滚轮装置作为连续运转部件，用于挤压软管。微型真空泵是一种小型化、低噪音、高性能的真空设备，广泛应用于各种需要真空环境的领域。上海库存真空泵

有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难，微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵，微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨，这对加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵，功能还只限于液体抽运，而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵，虽然已有针对小型化的新设计提出[11]，但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差，目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12]，全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。上海真空泵哪家好微型真空泵VAK系列是PK系列的升级产品，进行了一些升级，外观更精致，光滑 尺寸更精确；寿命更长，品质高。

蠕动泵的工作原理类似于用手指夹挤一根充满流体的软管，随着手指向前滑动管内流体向前移动，只是蠕动泵中用手指夹挤软管的动作由滚轮或转子完成。蠕动泵具有无污染、精度高、可快速更换泵管、流体可逆行、可以干运转、维修费用低等特点，在许多领域都有广泛应用，如生物医药、化工、环保、食品饮料等行业。微型真空泵一般指微型负压泵。 微型负压泵，顾名思义，是指能产生负压的微型气泵，即具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。

微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。宏观真空泵抽气速率高 极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工艺兼容性原因，可预期到其性能会下降。

无油活塞泵：它是一种利用活塞往复运动产生的泵吸气的真空设备，其工作原理是通过活塞的上下往复运动，使气体在泵筒内产生压缩和膨胀，从而产生负压来吸气。其广泛应用在医疗行业、电子制造、化工行业和食品行业等自动化设备领域。无需油，符合工业环保要求无油活塞真空泵在整个工作过程中，无需使用润滑油，无油活塞真空泵气缸内壁特殊处理，形成自润滑，不会产生油雾和废气，有效减少了对环境的污染，相对传统油式真空泵比较环保节能。在电机材质和设计上也独具匠心，电机能效比高，极低发热量，提高电机的运行效率和降低能源消耗，有效提高了节能环保的效果。蠕动泵所产生的吸力是由蠕动泵头的管轮总成挤压软管后软管回弹所产生的。上海真空泵发展

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蠕动泵提高工作效率的小技巧：蠕动泵停止工作时松开泵头压管模块蠕动泵在停止工作后松开压管模块能够比较大限度的延长蠕动泵软管的使用寿命。众所周知，蠕动泵是通过反复挤压的蠕动泵软管，蠕动泵软管回弹后所产生的吸力使得所传输的流体向前（向后）运动，达到流体传输的目的。然而如果蠕动泵在停止工作后不松开压管模块，回使得蠕动泵软管长时间处于被挤压状态，会造成蠕动泵软管弹性流失，使用寿命受损。因此，蠕动泵停止工作后应该及时松开压管模块，让蠕动泵软管处理自然状态。上海库存真空泵

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