纳米纤维已经展现出各种有趣的特性，除了高比表面积-体积比，纳米纤维相比于块状材料，沿主轴方向有更突出的力学特性。因此纳米纤维在复合材料、纤维、支架（组织工程学）、药物输送、创伤敷料或纺织业等领域是一种非常有应用前景的材料。纳米纤维机械性能（刚度、弹性变形范围、极限强度、韧性）的定量表征对理解其在目标应用中的性能非常重要，而测量这些参数需要高度专业画的仪器，必须具备以下功能：以亚纳米的分辨率测量非常小的变形；在测量的时间量程（例如100 s）内在纳米级的位移下保持高度稳定的测量系统；以亚纳米分辨率测量微小力；处理（捡取-放置）纳米纤维并将其放置在机械测试仪器上。纳米力学测试可以用于研究纳米材料的界面行为和相互作用，为纳米材料的应用提供理论基础。山西科研院纳米力学测试

原位纳米压痕仪的主要功能为：安装于SEM或者FIB中，可以对金属材料、陶瓷材料、生物材料及复合材料等各种材料精确施加载荷、检测形变量。在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，还可研究材料在动态力、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。ALEMNIS原位纳米压痕仪可与多种分析设备联用，如扫描电镜、光学显微镜和同步辐射装置等，并实现多种应用场景。该原位纳米压痕仪是一款能实现本征位移控制模式的压痕仪。依托于该设备的精巧设计及精细加工，对于不同的应用场景，其均具有灵活性、精确性和可重复性。深圳微电子纳米力学测试仪在纳米力学测试中，常用的仪器包括原子力显微镜、纳米硬度仪等设备。

AFAM 方法提出之后，不少研究者对方法的准确度和灵敏度方面进行了研究。Hurley 等分析了空气湿度对AFAM 定量化测量结果的影响。Rabe 等分析了探针基片对AFAM 定量化测量的影响。Hurley 等详细对比了AFAM 单点测试与纳米压痕以及声表面波谱方法的测试原理、空间分辨率、适用性及测试优缺点等。Stan 等提出一种双参考材料的方法，此方法不需要了解针尖的力学性能，可以在一定程度上提高测试的准确度。他们还提出了一种基于多峰接触的接触力学模型，在一定程度上可以提高测试的准确度。Turner 等通过严格的理论推导研究了探针不同阶弯曲振动和扭转振动模态的灵敏度问题。Muraoka提出一种在探针微悬臂末端附加集中质量的方法，以提高测试灵敏度。Rupp 等对AFAM测试过程中针尖样品之间的非线性相互作用进行了研究。

当前纳米力学主要应用的测试手段是纳米压痕和基于原子力显微镜(AFM) 的力—距离曲线方法，实际上还有另外一种基于AFM 的纳米力学测试方法——扫描探针声学显微术(atomic force acoustic microscopy，AFAM)。AFAM具有分辨率高、成像速度快、相对误差低、力学性能敏感度高等优点。然而，目前AFAM 的应用还不够普遍，相关领域的学者对AFAM 了解和使用的还不多。为此，我们在前期研究的基础上，经过整理和凝练，形成了这部专著，目的是推动AFAM这种新型纳米力学测量方法在国内的普遍应用。纳米力学测试对于材料科学研究至关重要，能够精确测量纳米尺度下的力学性质。

原位纳米机械性能试验技术，原位纳米机械性能试验技术是一种应用超分辨显微学、纳米压痕技术等手段，通过独特的力学测试方法对纳米尺度下的材料机械性质进行测试的方法。相比于传统的拉伸、压缩等方法，原位纳米机械性能试验技术具有更高的精度和更丰富的信息，可以为纳米材料的研究提供更加详细的数据支持。随着纳米尺度下功能性材料的不断涌现，纳米力学测试将成为实现其合理设计的重要手段之一。原位纳米力学测量技术在纳米材料力学测试领域具有广阔的应用前景，它不只可以为纳米尺度下材料力学行为的实验研究提供详细的数据支撑，而且还可以为新材料的设计和开发提供指导。在纳米尺度上，材料的力学性质往往与其宏观尺度下的性质有明显不同，因此纳米力学测试具有重要意义。山西科研院纳米力学测试

纳米力学测试设备的精度和灵敏度对于获得准确的测试结果至关重要。山西科研院纳米力学测试

纳米测量技术是利用改制的扫描隧道显微镜进行微形貌测量，这个技术已成功的应用于石墨表面和生物样本的纳米级测量。国外于1982年发明并使其发明者Binnig和Rohrer（美国）荣获1986年物理学诺贝尔奖的扫描隧道显微镜（STM）。1986年，Binnig等人利用扫描隧道显微镜测量近10－18N的表面力，将扫描隧道显微镜与探针式轮廓仪相结合，发明了原子力显微镜，在空气中测量，达到横向精度3n m和垂直方向0．1n m的分辨率。California大学S．Alexander等人利用光杠杆实现的原子力显微镜初次获得了原子级分辨率的表面图像。山西科研院纳米力学测试

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