无油活塞泵：免维护，使用寿命相对较长传统油式真空泵需要定期更换润滑油，而无油活塞真空泵不需要这样的维护，可以减少了工作人员的维护工作量。再者，无油活塞真空泵采用了比较密封技术和材料，使其在使用过程中摩擦损耗更小，使用寿命更长，减少了更换零部件的频率，提高了设备的稳定性和可靠性。匠心制造，精工铸造品质，增加产品使用寿命。产品配件采用进口品牌，外加合理的配合，确保产品经久耐用，以实测数据，无油活塞真空泵使用寿命≥2万小时。蠕动泵在停止工作后松开压管模块能够较大限度的延长蠕动泵软管的使用寿命。上海Bartels真空泵

活塞泵原理结构：活塞泵靠活塞往复运动，使得泵腔工作容积周期变化，实现吸入和排出液体。由泵缸、活塞、进出水阀门、进出水管、连杆和传动装置组成。靠动力带动活塞在泵缸内作往复运动。当活塞向上运动时，进水阀开启，水进入泵缸，同时活塞上的水阀关闭，活塞上部的水随活塞向上提升;当活塞向下运动时，进水阀关闭，活塞上的阀门开启，同时使泵缸下腔的水压入上腔，并升入出水管，如此反复进水和提升，使水不断从出水管排出。活塞泵分为单、双作用式;单、双、多缸式;卧、立、斜式;机动、手动、脚踏、畜力式。活塞泵的流量Q=0.71~6000米3/小时，排出压力P2≤39.2兆帕，大多数情况下P2≤24.5兆帕。活塞泵的流量是由泵缸直径、活塞行程及活塞每分钟的往复次数确定的;扬程取决于装置管路特性，同一台活塞泵流量不变，而扬程可随着装置管路特性变化。即扬程提高，而流量不变，只在高压区，流量稍有减少。上海绿色环保真空泵基本型蠕动泵：具备蠕动泵的基本功能，主要是蠕动泵的电位器调速。

步进电机蠕动泵顾名思义是采用步进电机驱动的蠕动泵。步进电机具有良好的启停和反转响应、较宽的转速范围和可靠性等。而采用步进电机的蠕动泵具有体积小，使用时间长，流量稳定以及精度较高等。蠕动泵是很受欢迎的流体传输设备，应用领域多方面。蠕动泵常被用户分为流量型蠕动泵、基本型蠕动泵、分配型蠕动泵、紧凑型蠕动泵等。部分用户会按照电机类型分类：步进电机蠕动泵、直流电机蠕动泵、伺服电机蠕动泵、防爆电机型蠕动泵等。

蠕动泵市场发展空间：蠕动泵又称为计量泵、恒流泵等，是一种液体传输分析仪器设备，主要由驱动器、泵头、泵管三部分组成。蠕动泵主要用于输送具有粘稠、强腐蚀性、纯度高、带颗粒等特征的介质，其具有结构紧凑、易于安装、操作便捷、精度高、维修费用低等优势，在化工、采矿、食品、医疗设备检测、水处理、造纸、冶金等领域应用较广。蠕动泵产品丰富，根据类型不同，蠕动泵可分为基本型蠕动泵、防爆型蠕动泵、流量型蠕动泵、分配型蠕动泵、手持型蠕动泵、定制型（OEM）蠕动泵等；根据应用领域不同，蠕动泵可分为实验用蠕动泵、工业用蠕动泵、医用蠕动泵等。总体来看，蠕动泵下游需求增长动力主要来源于医学领域，其次为水处理领域。真空泵可以将气体从反应室和加工设备中抽出，使其内部形成高真空状态，从而保证半导体制造的质量和稳定性。

微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。无油真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便。上海使用真空泵

工业型蠕动泵：蠕动泵采用大扭矩，免维护的直流无刷电机驱动，应用于工业生产过程中大流量传输的转速泵。上海Bartels真空泵

吸附物体，也叫真空吸附，实际上是利用微型真空泵对吸盘抽真空后吸住物体，从而起到悬挂、固定、移动物体等作用。科研、医疗、实验室、印刷、仪器仪表等行业常常用来吸附芯片、电池、相纸、玻璃等。工作原理：把真空泵抽气口通过管子、吸盘等元件与被吸附物体连接，用真空泵对吸盘抽真空，使吸盘与物体接触区域，气压由常压变为负压，利用外界大气压和这个负压之间的压差作用，达到吸附住物体的目的。体积小适合狭窄空间，性价比高；微型真空泵SVBY7506，负压75kPa，峰值流量6L/min，PWM调速调流量；采用更耐用、更耐磨的品质无刷电机，寿命长，可长时间连续运转。上海Bartels真空泵

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