微泰真空卡盘精密的半导体晶圆真空吸盘是半导体制造设备的关键部件,可确保晶圆表面的平坦度和平行度,从而在半导体制造过程中安全地固定晶圆,使各种制造过程顺利进行。微泰使无氧铜、铝、SUS 材料的半导体晶圆真空吸盘的平坦度保持在 3 微米以下;支持 6 英寸、 8 英寸和 12 英寸尺寸的晶圆加工;支持 2 层和 3 层的高级加工技术。 提供 4 层连接。尺寸: 6 英寸, 8 英寸.12 英寸。材料: AL6061, AL7075, SUS304, SUS316OFHC(Oxygen free High Conductivity Copper) 平面度公差:小于 3 um 连接: 2floor, 3floor, 4floor 表面处理: Anodizing, Electroless Nickel Plating,Gold Plating, Mirror Polishing。无氧铜 (OFHC) 半导体晶圆真空卡盘,无氧铜 (OFHC) 材料可延长晶圆卡盘的使用寿命,并可MAX限度地减少杂质进入半导体材料,从而防止潜在污染,而且易于加工和成型,可精确匹配卡盘设计。 可加工 。 然而,这种材料的加工要求极高,需要特别小心和精确才能获得光滑的表面光洁度,例如翘曲或毛刺、易变形和加工过程中的硬化。由于精度高的缘故,超精密加工常应用在光学元件。也会应用在机械工业。纳米级超精密异形孔
微泰,生产各种用于 MLCC 和半导体的精密真空板。工业真空盘由于其吸气孔较大,会对被吸物造成伤害,因此精密真空板的需求越来越大。 薄膜等薄片型产品,如果孔较大,可能会造成产品损伤或压花。因此市场需求超精密多微孔真空板。微泰生产并为工业领域提供高精度真空板,这些板由 Φ0.1 到Φ0.03 的微孔组成。半导体行业普遍使用陶瓷真空板,但由于其颗粒大,很难控制平面度及均匀的压力。客户对真空板的重要性日益凸显。 其尺寸各不相同,均匀压力管理有所不同。但根据客户的需求,我们生产并提供了质量优、性能优的真空板,并提供平面度0.001um和Φ0.03um的真空板(吸膜板,吸附板)。微泰产品应用于半导体用真空卡盘、薄膜吸膜板,吸附板,倒装芯片键合真空块、MLCC 堆叠Vacuum Plate、MLCC印刷吸膜板。超硬超精密COF Bonding Tool超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有要求,需要综合应用精密机械和其他先进技术。
微泰利用激光制造和提供超精密产品。 凭借高效率、高质量的专有加工技术,我们专门用于加工 Φ0.2 度以下的超精密微孔,并采用了Φ0.005 mm 激光钻孔技术,使用飞秒激光器。 此外,我们还在不断地开发技术,以提供更小的微米级孔。激光加工不同于常规的 MCT 钻孔加工,在热处理后,孔的加工容易,因此即使在极强度/高硬度或热处理过的产品中,也能够获得恒定质量的孔,如 PCD、PCBN 和 Cerama。 我可以用多种材料制成,包括硬质合金、不锈钢、热处理钢和钼。营业于半导体真空卡盘、吸膜板、COF绑定TOOL,倒装芯片键合、MLCC叠层吸膜板,MLCC印刷吸膜板,吸附板。
微泰以30年的技术和经验为基础,生产各种Cutter刀片和Blade刀具。对于MLCC及Film、二次电池等各种生产现场的切割处理,所需的刀片类不是单纯的切割,而是需要精密的进给度及切割边缘的角度管理、先进的材料管理等,以避免对被切割物造成损伤。通常,Cutter类被称为blade、cutter、knife、verticalblade、wheelcutter等多种名称,关键技术刀刃部的管理技术是Cutter类的重点技术点。为此,微泰提供了可靠、可靠的高精度、好品质、长寿命的各种刀片。超薄,超锋利的镜头切割器,光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口,占韩国塑料镜头切割刀片90%以上的市场。激光超精密加工的切割面光滑:激光切割的切割面无毛刺。
微泰,开发了一种创新的新技术,在PCD刀具上形成断屑槽,用于加工有色金属材料。使用独特的先进技术,现在可以在PCD刀具的切削刃上形成具有所需形状的断屑槽。该技术可用于从粗加工到精加工的范围,通过将加工过程中产生的切屑尺寸控制为任意小,从而提高了刀具寿命和表面光洁度。通过改变PCD的倾角以及形成的断屑槽,可以通过降低切削力和MAX限度地减少加工过程中产生的热量来MAX限度地减少工件的变形。该技术能够生产客户所需的高精度产品,提高生产力,提高质量并降低加工成本。
对于大件产品的加工,大件产品的模具制造费用很高,激光超精密加工不需任何模具制造。纳米级超精密异形孔
超精密激光加工是先进的加工技术,它利用高效激光对材料进行雕刻和切割,主要的设备包括电脑和激光切割机。纳米级超精密异形孔
一般来说,抛光是指利用陶瓷泥浆进行机械聚光,以及石英和蓝宝石等主要使用的抛光。利用激光的抛光技术在技术上经常被提及,但未能应用于工业现场。因此,微泰感受到了在精密切削加工后,为了校正细微的平面度,需要采用抛光技术,通过与国外诸多研究机构的合作,开发出激光抛光设备,并将其应用于工业现场。激光抛光技术是微泰自主技术,利用它进行大面积抛光和研后微调、加工等多个领域。刀具方面,刀锋可以加工到0.2微米厚度,刀片对称度到达3微米以下,刀片边缘线性低于5微米以下。我们特别专注于生产需要高难度、高公叉、高几何公叉的产品,超精密零件,包括耗散零件、喷嘴、索引表和夹钳,以及用于 MLCC 和半导体领域的各种精密零件,真空板。 可以加工和制造各种材料,包括不锈钢、硬质合金、氧化锆和陶瓷,刀具,刀片,超高精密治具,镜头切割器和刀具C L切割器、TCB 拾取工具、折叠芯片模具、摄像头模组的拾取工具,治具。特别是超薄,超锋利的镜头切割器,光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口,占韩国塑料镜头切割刀具90%以上的市场,精密要求极高的摄像机传感器与IC、PCB进行热压接合用治具,也占韩国90%以上市场纳米级超精密异形孔
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