一、陶瓷的增韧方法目前，陶瓷的增韧方法主要有：相变增韧、颗粒增韧、纤维增韧、自增韧、弥散韧化、协同增韧、纳米增韧等。1、相变增韧相变增韧是指亚稳定四方相t—ZrO2在裂纹前列应力场的作用下发生一相变，形成单斜相，产生体积膨胀，从而对裂纹形成压应力，阻碍裂纹扩展，起到增韧的作用。此外，外界条件（如激光冲击、疲劳断裂韧性、低温、晶粒尺寸和含量、临界转变能量等）对氧化锆陶瓷相变增韧有很大的影响，如果相变产生大的应力和体积变化，则产品容易断裂，因此生产过程中，应避免外界因素对氧化锆陶瓷相变增韧的影响。 这种微孔陶瓷真空吸盘具有较长的使用寿命和稳定的吸附性能，能够满足各种工业应用的需求。深圳微孔陶瓷真空吸盘哪里好

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 深圳原装微孔陶瓷真空吸盘哪里好用真空阀可以调节吸附力的大小。

真空吸盘要求高孔隙率，超微细孔径的场合，Fountyl微孔陶瓷正空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围。微孔陶瓷的结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒**而成，**时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙，经过掺入高温（１5００℃）的溶蚀粘结物，再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料，采用粗细均匀的颗粒，加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀，研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料，是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。

2、干压成型

对形状简单、适于干压成型的中小型氧化锆陶瓷产品常采用干压方法成型。氧化锆 陶瓷干压时出现的常见问题是产品分层，这是因为氧化锆超细粉造粒料的颗粒很细，因而颗粒轻、流动性差，干压成型时容易出现分层现象。从生产实践中得知，产品分层与成型模具的光洁度和配合情况、成型压力、加压方式、加压速度和保压时间、脱模方式、脱模速度均有关系，下面就上述几方面因素对干压成型的影响分述如下：

A、模具的光洁度和配合情况

干压成型对模具质量要求较高，首先要求模具硬度达到一定的要求。由于氧化锆稳定料的颗粒很细，流动性差，因而对模具的光洁度要求很高，若光洁度达不到要求，则干压时影响料的流动，从而导致分层的出现。同时，若模具配合不好，间隙大，则由于氧化锆 粉料颗粒细，压制时粉料会从模具间隙中流出，从而造成模具四周的粉料少，这样压制时四周就不能压实，从而会因压力传递不一致而出现分层，故对模具的配合要求较高。 因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。

B、成型压力

成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的，压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小，则烧后产品的密度小，产品收缩大，坯体压实程度不够容易出现分层；而压力太大，坯体也容易出现裂纹、分层和脱模困难等现象。合适的成型压力需要通过生产实践来摸索。

C、加压方式

般干压成型时加压方式有两种，一种是单面加压，另一种是双面加压。当单面加压时，则直接受压的一端压力大，出现明显的压力梯度，粉料的流动性越差，则坯体内出现的压力差也就越大，越容易出现分层。双面加压时，坯体两端直接受压，因此两端密度大，中间密度小，其压力梯度的有效传递距离为单面加压的一半，故坯体的密度比单面加压要均匀得多。因此氧化锆陶瓷干压成型时宜采用双面加压的方式。 微孔陶瓷真空吸盘的高效吸附性能和可靠性使其成为自动化生产过程中的重要组成部分。深圳微孔陶瓷真空吸盘哪里好

在一个盘上，可以固定多种形状的被加工物。深圳微孔陶瓷真空吸盘哪里好

4、Al-SiO2法

Al-SiO2法是目前制备氧化铝陶瓷中采用**多的方法。该方法将Al金属和SiO2粉体混合均匀后，在Ar气条件下进行反应，反应温度一般为1300～1500 ℃

，反应时间为2～4h，制备得到氧化铝陶瓷。

Al-SiO2法优点是原料价格低廉，工艺操作简单易行。缺点是：制备过程中需要通入保护气体，限制了其工业应用。

5、前驱体法

化学反应前驱体法在水热条件下进行，原料在高压釜内发生反应得到前驱体，前驱体已经具有陶瓷或是纤维状结构，为**终产物的出现提供了骨架。在水热制备氧化铝陶瓷中，勃姆石纤维为常见中间体。主要工艺过程是采用 Al（OH）3为前驱体，胶体经水热反应生成纤维状勃姆石晶粒，再经常压下煅烧，得到 α-Al2O3微粉，晶粒仍保持了纤维形状。 深圳微孔陶瓷真空吸盘哪里好

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