光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。氖气低压放电管用做指示灯。湖南普通氖储存

    附图标记为：循环压缩机1；分馏塔2；主换热器3；一级精馏塔4；二级精馏塔5；纯氪塔6；粗氙塔7；纯氙塔8；***冷凝蒸发器9；第二冷凝蒸发器10；第三冷凝蒸发器11；第四冷凝蒸发器12；第五冷凝蒸发器13。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。需要说明的是，在不***的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。实施例1如图1所示，本发明实施例提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法，分馏塔中冷凝蒸发器的冷源为液氮与氮气混合后得到的低温气体，根据分馏塔2中每个精馏塔的操作温度不同，每个精馏塔的冷凝蒸发器冷源中低温氮气与常温氮气以不同比例混合。作为一个推荐实施例，从各冷凝蒸发器出来的氮气汇总后，经过主换热器3复热至0～20℃送给循环压缩机1增压至～。作为一个推荐实施例，所述氮气从直接管道供气或循环压缩机1出来后。湖南普通氖储存氖气在水中的溶解度非常低，几乎不与水反应。

    和分别位于二级精馏塔5塔内、纯氪塔6塔内、粗氙塔7塔内、纯氙塔8塔内，以不同比例低温氮气与常温氮气混合后得到的较低温气体为冷源的第二冷凝蒸发器10、第三冷凝蒸发器11、第四冷凝蒸发器12、第五冷凝蒸发器13；用于汇总从各冷凝蒸发器出来的氮气并复热的主换热器3；以及用于接受复热后的氮气并增压的循环压缩机1；其中，所述一级精馏塔4与所述二级精馏塔5连接；所述二级精馏塔5分别与所述纯氪塔6和所述粗氙塔7连接；所述粗氙塔7与所述纯氙塔8连接；所述分馏塔2与所述主换热器3连接。所述循环压缩机1分别与所述分馏塔2和所述主换热器3连接。氪氙混合物经前端氪氙粗制设备浓缩后(kr：～％，xe：～％，其余为氧、氮、碳氢化合物、氟化物等)经过管道或者容器加入到分馏塔2内的一级精馏塔4中(操作压力～，温度收压力及组分变动影响，一般为-125～-170℃)，在去除低沸点组分(一般为混入的氧气、氮气等)后，送入二级精馏塔5，二级精馏塔5的操作压力比一级精馏塔4略低，一般在～，杂质含量减少，操作温度会比较稳定，一般为-130℃。在其中分离为高沸点的粗氙气和低沸点的粗氪气，其中粗氪气送入纯氪塔6(操作压力为～，操作温度为：-135℃)，在纯氪塔6中，高沸点组分。

    展开全部氖气的化学式是Ne。通常2113氖可以作为彩色5261霓虹灯的充装气体用于户外广告4102显示；此外1653，它还可用于可视发光指示灯、电压调节，以及激光混合气成份。化学性质：进行低压放电时，在红色部分显示出非常明显的发射谱线。十分不活泼，不燃烧，也不助燃。液氖具有沸点低、蒸发潜热较高、使用安全等优点。主要用途：1、用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质(例如高压氖灯、计数管等)；2、用于激光技术，做视发光指示灯、电压调节，以及激光混合气成份等。扩展资料注意事项：危险性：该品在高浓度时，可使空气中氧分压降低而有窒息危险。表现有呼吸加快、注意力不集中、共济失调；继之出现疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以致死亡。进行生产时一般不需特殊防护。但当作业场所空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。储存注意事项：库房通风低温干燥，轻装轻卸。可由液态空气分离得到，在真空管内发出淡红色辉光，用于电灯中 [neon]——元素符号Ne。

    2）由原子构成的物质(以Cu为例)宏观：表示该物质：铜表示该物质由什么元素组成：铜由铜元素组成微观：表示该物质的一个原子—一个铜原子。化学式和化合价的关系：（1）根据化学式求化合价①已知物质的化学式，根据化合价中各元素的正负化合价代数和为0的原则确定元素的化合价。标出已知、未知化合价：列出式子求解：（+1）×2+x×1+（-2）×3=0x=+4②根据化合价原则，判断化学式的正误，如判断化学式KCO3是否正确标出元素或原子团的化合价计算正负化合价代数和是否为0：（+1）×1+（-2）×1=-1≠0，所以给出的化学式是错误的，正确的为K2CO3。③根据化合价原则，计算原子团中某元素的化合价，如计算NH4+中氮元素的化合价和H2PO4-(磷酸二氢根)中磷元素的化合价。由于NH4+带一个单位的正电荷，不是电中性的，因此各元素的化合价代数和不为多，而是等于+1.设氮元素的化合价为xx+(+1)×4=+1x=-3所以在NH4+中，氮元素的化合价为-3.同理H2PO4-带一个单位的负电荷、不是电中性的、因此各元素的化合价代数和不为零，而是-1.设磷元素的化合价为y(+1)×2+y+(-2)×4=-1y=+5所以在H2PO4-中磷元素的化合价为+5.④根据化合价原则，确定物质按化合价的排序。如H2S，S，SO2。用于空间探索计划中其他专门仪表。湖南普通氖储存

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    包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。并且，在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个公开方面中的一个或多个，在上面对本公开的示例性实施例的描述中，本公开的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本公开要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，公开方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本公开的单独实施例。以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述*为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内。湖南普通氖储存

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