特种气体管道的施工，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。主要的施工机具，特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、手工氩弧焊机、其他辅助工具。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度。上海检验科特气管道安装价位

特气管道安装：（1）根据图纸所示位置放线定位并弹线开孔（注意预留检修口）；将管子吊装至预定的安装位置后固定牢靠，并用垫板垫好管件防止滑动伤人。（一般采用膨胀螺栓固定）然后连接支吊架使管子与支吊架牢固连接起来；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺测量管子轴线与地面垂直度误差≤0.5mm/m2，如有偏差及时调整直至合格为止；（一般用钢卷尺检测）如遇特殊环境可用经纬仪或全站仪等测量仪器检测。（一般用全站仪检测）。同时应做好记录以便返工处理。（一般采用经纬仪检测。）江苏隐藏式特气管道安装配件管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。

特气管道工程安装注意事项有哪些？1、管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。所有支吊架安装前必须做除锈、涂刷两遍防锈漆的防腐处理。2、管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。

特种气体管道焊接应符合下列规定：1在正式焊接前、更换焊头后、更换钨棒后、改变焊接管径、焊机电源关闭重新启动后都应进行焊接测试，焊接测试样品经质量检验员检查合格并填写焊接合格确认单后方可正式施焊；在结束焊接前也应进行焊接测试，并应检查正式施焊后所焊焊接接头是否合格；2应严格按照焊接工艺规程要求进行焊接，焊接过程中应做好焊接记录，焊接接头处应标明焊接时间、焊工姓名或焊工钢印号、焊接接头编号、介质名称；3对接接头组对时应对称均匀，接头错边量不应大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接接头的位置弯曲。当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。上海大楼特气管道安装服务商

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。上海检验科特气管道安装价位

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。上海检验科特气管道安装价位

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