大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。上海大楼特气管道安装服务商

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。上海大楼特气管道安装服务商选择特气管道工程安装公司的标准：施工技艺先进，验收严格按照规定标准。

弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度，使弯管质量达到要求。直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一，连接口需在钨极的中心位置。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。

特气管道工程，特气管道工程是指把特殊气体从气源部分输送到用气终端的一种工程。系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。

设备材料进场验收、焊接样品鉴定时，建设单位技术人员应在场检验确认。主要设备、材料进场验收，气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定：1 外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识，并应完整无损；2 表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口；3 面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；4 内部引出的管路和阀件接口应用专门使用管帽和堵头封堵；5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；6 阀门、仪表与面板之间应有专门使用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。浙江多组分特气管道安装规范

管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整。上海大楼特气管道安装服务商

管口加工，管口的加工是本施工技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气，防止切屑进入管内。切割后采用端面处理器进行端面处理，铣去毛刺；处理过程中，确保端面朝下(一直保持端面朝下)，处理后轻轻抖动消除切屑；加工后使切面朝下，从上方敲打5次，然后再次顺管内介质流用高纯氮气冲吹，切割面位于氮气下的流方向。切割后和端面处理后如管上附有切屑或其他杂质，用无尘布沾异丙醇擦试干净，无尘布使用应遵循“一次擦”的原则，不能反复使用。上海大楼特气管道安装服务商

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