排风系统和放空系统也是特气系统的重要组成部分。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。普通排风系统采用镀锌铁皮风管，酸性排风一般采用玻璃钢风管，溶剂和氨气排风一般采用不锈钢风管。气柜的排风也是根据其性质接入上面不同的排风系统。气体的放空是指特气管道和气柜中的特气经氮气稀释后由放空管道排放到大气或排风系统中，有的剧毒性或高危害性的气体建议排放到尾气处理器中经处理后排放至相应的排风系统中。放空系统一般采用SUS304不锈钢管道，一直延伸到屋顶，高出屋面两米左右，并设防雨罩。管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整。江苏氨气特气管道安装价格

管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。江苏氨气特气管道安装价格特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式。

特气管道安装流程:1、管道连接时，不得强力对口。2、管口对接应检查平直度，距接口200mm处测量，允许偏差1mm/m，全长偏差小于10mm，法兰间连接要平行。3、采用螺纹接头应用四氟乙烯带填料，禁止用麻油。4、管道与支架中间应采用无氯离子塑片相隔离;穿墙管道应加套管，套管长度不应小于墙厚，中间空隙应用不燃材料填塞。5、氮气管道应有防雷及导除静电的接地装置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管顶距地面)，直接埋地应作防腐处理。人体工程学:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。

特气管道工程安装需要注意以下几点，首先一定要找专业的安装公司，公司必须是拥有建筑安全施工资质和气体管道施工资质的，比如沃飞科技，这就是一家资质非常齐全的公司，另外要找一个能提供系统帮助的公司，包括一定要有良好的售后服务，保证后期出现任何问题都有责任方。为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。

管口加工，管口的加工是本施工技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气，防止切屑进入管内。切割后采用端面处理器进行端面处理，铣去毛刺；处理过程中，确保端面朝下(一直保持端面朝下)，处理后轻轻抖动消除切屑；加工后使切面朝下，从上方敲打5次，然后再次顺管内介质流用高纯氮气冲吹，切割面位于氮气下的流方向。切割后和端面处理后如管上附有切屑或其他杂质，用无尘布沾异丙醇擦试干净，无尘布使用应遵循“一次擦”的原则，不能反复使用。弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。上海实验室特气管道安装价格

按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。江苏氨气特气管道安装价格

硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。江苏氨气特气管道安装价格

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