图形精度 ：±15um

精度是衡量设备性能的重要指标之一。该设备的图形精度达到±15um，这意味着它能以非常高的精度对硅片进行加工，从而确保产品的一致性和质量。这种高精度加工有助于减少废品率，提高成品率。

对准精度 ：±15um

对准精度同样是关键的性能指标。该设备在对硅片进行加工前，能够进行精确的对准操作，确保加工位置的准确性。这种高对准精度有助于提高加工质量和成品率。

上下料方式 ：AGV 双层双线进出

自动化的上下料方式能够大幅度提高生产效率，减轻人工操作的负担。AGV双层双线进出方式使得硅片的装载和卸载更加快速、准确，进一步提升了设备的整体产能。这种自动化上下料方式还减少了人为因素对生产过程的影响，提高了产品的一致性。 5) 设备试生产运行期间，负责培训贵司指定机电维修人员，培训包括设备操作维护， 一般常见故障的分析和处理。广东背面选择性开槽机

除尘机：硅片加工过程中容易产生粉尘，为了确保设备的正常运行和延长设备寿命，除尘机是必不可少的组成部分。除尘机主要负责收集和清理加工过程中产生的粉尘，保持设备内部的清洁。这有助于减少故障和维护成本，提高设备的稳定性和可靠性。

激光器系统：激光器系统是激光主机的重要组件，负责产生高能激光束。该系统通常包含激光器、电源和控制单元等部件。激光器产生激光束，电源为其提供能量，而控制单元则调节激光器的运行参数，确保激光束的质量和稳定性。 广东背面选择性开槽机升降模组采用带刹车的伺服电机与螺纹丝杆，精确控制花篮上下运动，刹车设计确保掉电时位置固定。

CCD定位系统及软件：CCD定位系统及软件用于硅片的精确定位和校准。通过高精度的图像识别技术，该系统能够快速准确地确定硅片的位置和角度，确保激光加工的精度和质量。

光路系统：光路系统是控制激光束传输的关键部分。该系统通常包含反射镜、聚焦透镜等光学元件，用于控制激光束的方向、形状和焦点位置。光路系统的设计直接影响激光加工的精度和效果。

激光功率实时监测系统：该系统用于实时监测激光功率的变化，确保加工过程中的稳定性和一致性。通过实时监测激光功率，该系统能够及时调整激光器的运行参数，保证加工质量不受影响。

定位系统

定位系统由CCD相机、镜头、光源、光源控制器组成，激光台面具有吹扫以及破片识别功能。相机为高精度智能CCD相机，2000W像素，定位方式采用中心定位。

除尘系统

采用专业的高负压除尘过滤系统，确保切割粉尘抽除干净。

控制系统

采用高性能计算机控制系统。

控制软件由海目星自主研发，具有自主知识产权。

人机界面采用专业先进的图形用户界面，操作简单，界面友好，易于掌握。能根据需要完成轨迹编辑和修改，同时兼容DXF图形导入。

基本功能：具有密码验证登录、安全门保护、报警灯等必备安全功能，工艺参数，设备参数、操作和维护记录等存储功能。

具有声光三色报警指示灯，急停按钮。

5) 人机界面操作系统及控制程序；

激光器

激光器采用2台海目星自主研发，具有自主知识产权的纳秒绿光激光器，工艺参数表如下：

波长：532nm

激光器功率：＞30W

重复频率：300kHz-10MHz

脉冲能量稳定性：≤2%RMS

脉冲宽度：＜10ps

光斑形状：圆形

线宽：20~50um图形重复精度：≤±15um

扫描速度：Max：50m/s

海目星激光器以其突出的性能和稳定的输出为各种材料加工和精密制造领域提供了强有力的支持。无论是高功率、高重复频率、高稳定性还是高速扫描，海目星激光器都能满足各种苛刻的加工需求，为现代工业生产提供高效、高质量的解决方案。 急停开关：当设备出现故障时，可按急停按钮，设备停止运行。海目星开槽销售厂家

硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。广东背面选择性开槽机

首先，激光器的波长是532nm，属于绿色激光。这种波长的激光在许多材料加工领域具有优越的特性，如对硅片、玻璃等材料的吸收好，能够实现高效、高精度的加工。

其次，激光器的功率大于30W，这意味着它具有较高的能量输出，能够快速完成各种材料加工任务。高功率的激光器在切割、打标和微细加工等方面具的优势，可以大幅度提高生产效率和加工质量。 广东背面选择性开槽机

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