工艺原理 采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工，顺管内介质流向高纯氮气（99.9999%）进行吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专门使用弯管装置进行弯管加工，双层管道内外充纯氩（99.9999%）保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接，结合氦气检漏的工艺原理，保证内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。3 加工安装操作要点， 洁净区域管制 现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。上海化验室特气管道安装注意事项

硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。浙江实验室特气管道安装施工选择特气管道工程安装公司的标准：对特气管道工程设计考虑的比较全方面。

特气管道安装特点，它的特点主要体现在四个方面:安全、经济、纯度和人体工程学。安全:使用者可以通过配备的远程切断系统在紧急状况下切断气体供应。钢瓶储存区的合理布置可以保持可燃性容器和助燃性容器间的安全间距。经济性:使用者只需管理较少的钢瓶，支付较少的钢瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式较终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的钢瓶管理。纯度:减压器面板可以保持气体的指定纯度，钢瓶更换频率的减少导致杂质进入系统的机率降低。

特种气体管道焊接应符合下列规定：1在正式焊接前、更换焊头后、更换钨棒后、改变焊接管径、焊机电源关闭重新启动后都应进行焊接测试，焊接测试样品经质量检验员检查合格并填写焊接合格确认单后方可正式施焊；在结束焊接前也应进行焊接测试，并应检查正式施焊后所焊焊接接头是否合格；2应严格按照焊接工艺规程要求进行焊接，焊接过程中应做好焊接记录，焊接接头处应标明焊接时间、焊工姓名或焊工钢印号、焊接接头编号、介质名称；3对接接头组对时应对称均匀，接头错边量不应大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接接头的位置弯曲。夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。

特种气体管道的施工 ，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。*后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。预制间的选择，特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。上海化验室特气管道安装注意事项

项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训。上海化验室特气管道安装注意事项

特气管道安装：（1）根据图纸所示位置放线定位并弹线开孔（注意预留检修口）；将管子吊装至预定的安装位置后固定牢靠，并用垫板垫好管件防止滑动伤人。（一般采用膨胀螺栓固定）然后连接支吊架使管子与支吊架牢固连接起来；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺测量管子轴线与地面垂直度误差≤0.5mm/m2，如有偏差及时调整直至合格为止；（一般用钢卷尺检测）如遇特殊环境可用经纬仪或全站仪等测量仪器检测。（一般用全站仪检测）。同时应做好记录以便返工处理。（一般采用经纬仪检测。）上海化验室特气管道安装注意事项

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