过去十年，中国工业企业和科研机构正在加快对于设备和仪器的升级，从中国制造迈向中国创造，因此对于纳米级别运动控制的需求出现了爆发。

精密仪器设计中相关的材料的选择与传统机械设计一般考虑相关，但主要关注点可能不同：例如强度和质量可能不太重要，但保持形状和尺寸稳定性的能力，通常是要求很高的。由于材料的使用量小，因此材料成本可能不会对总成本产生重大影响，因此，性能被更优先考虑，并且使用各种新材料是可行的。结构材料的热性能一直是精密仪器设计和使用的主要关注点。在正常使用中，所有机械设备都会遇到环境温度变化、执行器功耗、操作员操作等引起的热量输入。热扰动的直接影响是热膨胀，它会引起机械部件的尺寸变化，从而导致仪器精度的损失。 纳米定位平台直驱的好处？电容式位置传感器精确度控制案例

压电纳米位移台的命名是由三部分组成：“压电”指执行器种类，是以PZT压电陶瓷叠堆作为驱动源；“纳米”指精度等级，移动端面在PZT压电陶瓷的驱动下，可以实现纳米级精度的步进或连续运动；“位移系统”指运动方式，其实现的是X、Y、Z向一维或多维的平移运动。压电纳米位移系统是将PZT压电陶瓷与柔性铰链结构、金属壳体结构相结合，并配备有机械固定安装接口与负载安装接口。压电纳米位移系统可直接带动负载进行微位移调节，其运动面有螺纹孔用于安装固定负载。此外，压电纳米位移系统可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制、光路控制等。 压电纳米促动器价格纳米定位适用于精密工业制造、科学研究、光子学和卫星仪器仪表的所有应用。

材料的可加工性是纳米精度机构设计的另一个限制。首先，所选材料必须可加工成所需的几何形状。例如，我们的大多数挠性运动台都是通过电火花加工来切割的。玻璃陶瓷尽管它们具有许多良好的性能但显然不能用这种加工方式。另一方面，加工成本在产品价格中占主导地位，因为纳米精度机构中的大部分组件尺寸都比较小，因此材料成本的影响并不显着。材料的机械加工性取决于材料的强度、硬度、韧性和导热性等特性。

铝合金是工程结构中常用的材料之一。精密仪器主要利用其导热性好、易于制造（加工成本低）和质量轻的特性。由于其高热膨胀系数，必须小心使用。通常选择这种材料进行热匹配。

压电纳米位移平台是非中孔式位移台，有一定的承重负载能力，是一款面向半导体制造、光纤制造、激光直写等应用方向的产品，采用闭环负反馈控制，具有结构紧凑、体积小、运动范围大、成本低等特点。主要用于带动负载进行纳米级精度的位移，以实现超精密定位加工的用途。压电纳米位移平台由叠堆型压电陶瓷执行器提供驱动力，经过位移放大机构，柔性机构推动移动端面进行1X1、2X2或3X3高精度位移，由于叠堆型压电陶瓷执行器响应速度快，体积小，出力大刚度高，可以根据控制信号实现毫秒级快速定位响应。 纳米位移系统只有经过有效校准，才能成为真正的高精度定位系统。

EBL系统是重要的纳米制造设备，它集电子、机械、真空和计算机技术于一身。然而，对于许多教育或研究实验室来说，商用EBL系统的价格要昂贵得多，因为这些实验室只对创新器件的技术开发感兴趣。因此，一套高性能、低成本、操作灵活的EBL系统会是一个很好的解决方案。本文介绍了一套基于改装SEM搭建而成的EBL系统，它的组成主要是允许外部信号控制电子束位置的改装扫描电子显微镜、激光干涉仪控制工件台、多功能高速图案发生器和功能齐全、易于操作的软件系统。这种基于扫描电子显微镜的EBL系统操作灵活，成本低廉，在微电子学、微光学、微机械学和其他大多数微纳制造领域都有很大的应用潜力。 纳米定位平台的工作原理图讲解。压电陶瓷调节装备解决方案技术

而低温、真空、无磁版本是专为特殊环境应用而设计。电容式位置传感器精确度控制案例

北京微纳光科仪器(集团)有限公司主要提供《微》《纳》《光》《科》四个版块产品，【实验室一体化解决方案】的三个版块《实验室装修/净化/设计》《实验室家具》《实验室仪器设备》,《无人工厂一体化解决方案》以及《特殊工况下自动化设备和仪器解决方案》的服务。主要产品系列有：电控位移台，手动位移台，直驱滑台转台，直线电机，相位台，工业机械手，KK模组，真空无磁低温；压电纳米促动器，压电纳米移动台；光学冷加工，光学元器件，光学镀膜，光学调整架，光纤调整耦合，晶元检测，晶元曝光刻蚀半导体设备，影像测量，机器视觉，图形图像处理，光学分析仪器，光学检测/测试仪器；科学实验室的设计装修，科学实验室家具（光学平台，大理石平台，实验操作台）自主研发的科学实验室仪器以及代理仪器，科学实验室的一体化解决方案。 电容式位置传感器精确度控制案例

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