纳米平移台参数运动范围：纳米定位器的极大位移。分辨率：平台可以移动的极小步长。本底噪声：当平移台处于静态指令时，平移台晃动的振幅。它通常用峰值来测量和指定。它是传感器噪声、驱动器电子噪声和指令噪声等的组合。由于我们使用的硅HR传感器的信噪比非常高，所以我们平台的位置噪声非常有限。重复性：用相同的方法，同一试验材料，在相同的条件下获得的一系列结果之间的一致程度。相同的条件是指同一操作者，同一设备，同一实验室和短暂的时间间隔。线性度误差:实际位置和一阶极佳拟合线（直线）之间的误差。我们的纳米定位产品通过激光干涉仪进行校准，非线性误差被补偿到全行程的0.02%。共振频率：压电台是以共振频率为特征的振荡机械系统。我们给出的谐振频率是纳米定位器上可以看到的极低谐振频率。一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性就越高，工作带宽就越宽。压电台的谐振频率是由坚固性和质量之比的平方根决定的。 六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。亚微米移动台控制系统

压电纳米定位台的特点：压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现高精度位移，定位精度可达纳米级。具有超高的导向精度，有高刚性、高负载、无摩擦等特点。压电纳米位移台典型应用：压电纳米位移台在基础科研市场，半导体市场，先进制造业，生物医药行业，光学、通信等行业都能够被广泛应用。尤其随着国家政策对半导体行业的大力扶持，在半导体精密加工，芯片制造，5G通讯等具体应用场景，压电纳米位移台的市场需求得到进一步扩充，市场前景更广阔。 压电纳米位移传感器性能评估研究纳米位移台在生物医学上的应用是诊断扫描仪。

由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动，分5步位相移动，每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现纳米级位移。具有高刚性、高负载、无摩擦等特点，可适应匹配光纤端面检测的需求。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现纳米级位移。具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。此外，压电纳米定位台还可用于：光路调整；纳米操控技术；纳米光刻，生物科技；激光干涉；CCD图像处理；纳米测量、显微操作；纳米压印、纳米定位；显微成像、共焦显微。

带宽：平台运动的振幅下降3dB的频率范围。它反映了平台可以跟随驱动信号的速度。漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境的影响。漂移可能来自于机械系统和电子设备。摩擦。摩擦被定义为运动过程中接触面之间的阻力。因为他们使用弯曲，所以摩擦可能是恒定的或与速度有关。而Piezoconcept的纳米定位器是无摩擦的。滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。闭环控制是这个问题的理想解决方案，通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。正交性误差:两个定义的运动轴的角度偏移，使其相互之间成为正交。它可以被解释为串扰的一部分。阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的10%到指令值的90%所需的时间。阶跃响应时间反映了系统的动态特性。压电纳米定位台可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制、光路控制等。

压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。 纳米定位台是一个压电扫描柔性引导平台。压电纳米整体移动台哪家好

标准版压电纳米定位台是为正常室温下使用而设计。亚微米移动台控制系统

压电纳米扫描系统是由精密压电纳米定位台与压电控制器组成，系统可完成单轴或多轴的纳米精度的运动控制。下图中为芯明天的一款小体积型Z向压电纳米扫描系统。干涉测量是基于电磁波的干涉理论，通过检测相干电磁波的干涉图样、频率、振幅、相位等属性，将其应用于各种相关测量的技术的统称。用于实现干涉测量术的仪器被称作干涉仪。在当今科研领域、工业领域等，干涉测量术都发挥着重要作用，包括天文学、光纤光学、工程测量学等。在干涉测量中常用的工具是迈克尔逊干涉仪，一般可将相干光源的单条入射光束分成两条相同的光束。每条光束的传播路径（称为光程）不同，并在到达探测器之前重新会合。每条光束的传播距离不同使它们之间产生相位差。该相位差形成了可通过探测器捕获的干涉条纹。如果单条光束沿两个光路分开（测量光路和参考光路），则利用相位差便可判断出所有可改变光束相位的因素。 亚微米移动台控制系统

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