纳米技术是21世纪重要的科学技术之一，它将引起一场新的工业发展浪潮。纳米技术是包括纳米电子、纳米材料、纳米生物、纳米机械、纳米制造、纳米测量、纳米物理纳米化学等诸多科学技术在内的一组技术的汇聚，其目的是研究、发展和加工结构尺寸小于100nm的材料、装置和系统，以获得具有所需功能和性能的产品。科技发达国家为抢占这一高新技术生长点、制高点，竞相将纳米技术列为21世纪战略性基础研究的优先项目。纳米测量技术是纳米技术的重要组成部分，对于纳米材料的发展。纳米器件和系统的研究与开发具有十分重要的意义。纳米测量技术的内涵涉及纳米尺度的评价、成份、微细结构和物性的纳米尺度的测量，它是在纳米尺度上研究材料和件的结构与性能、发现新现象、发展新方法、创造新技术的基础。纳米技术主要研究微观尺度的物体和现象，同时微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。与广义的测量技术相比，纳采测量技术具有被测量的尺度小以及以非接触测量手段为主等主要特点。 由于纳米位移系统自身具有闭环控制，能产生稳定的、重复的运动。压电陶瓷微动装置技术应用

EBL系统是重要的纳米制造设备，它集电子、机械、真空和计算机技术于一身。然而，对于许多教育或研究实验室来说，商用EBL系统的价格要昂贵得多，因为这些实验室只对创新器件的技术开发感兴趣。因此，一套高性能、低成本、操作灵活的EBL系统会是一个很好的解决方案。本文介绍了一套基于改装SEM搭建而成的EBL系统，它的组成主要是允许外部信号控制电子束位置的改装扫描电子显微镜、激光干涉仪控制工件台、多功能高速图案发生器和功能齐全、易于操作的软件系统。这种基于扫描电子显微镜的EBL系统操作灵活，成本低廉，在微电子学、微光学、微机械学和其他大多数微纳制造领域都有很大的应用潜力。 压电纳米位移传感器测试校准系统是将纳米位移系统内部的“标尺”与米定义联系起来，实现量值的溯源。

一般来说，机械设计可以在很大程度上满足刚度和强度的需求，前提是不限制尺寸空间。因此对于精密仪器的设计，杨氏模量和屈服强度的值不如热性能重要。然而，为了减少环境的影响，许多精密设备被刻意设计得很小。然后必须仔细考虑材料的力学性能。例如，材料的强度可能会限制柔性机构最大行程；低杨氏模量材料可能无法为纳米精度机械装置或其框架提供足够的刚度；硬度可能会影响机构与其致动器之间的接触刚度，这对机械系统的共振频率有直接影响。此外，材料的质量会对纳米精度机构的动态特性产生很大影响。

扫描电子显微镜的纳米电子束光刻（EBL）系统。它的主要组成部分包括改进型扫描电子显微镜、激光干涉仪控制平台、多功能高速图形发生器和功能齐全、操作简便的软件系统。

在电子和电气制造业中，光刻技术是制造无源/有源器件的重要步骤。随着纳米技术的飞速发展，纳米光刻技术作为一种重要的纳米结构和纳米器件制造技术，越来越受到人们的关注。尤其是电子束光刻技术（EBL），以其高分辨率和出色的灵活性在纳米光刻技术中发挥着不可替代的作用。电子束的束斑尺寸可聚焦到小于一个纳米，并可生成超高分辨率的图案。因此，EBL在纳米电子学、纳米光学和其他大多数纳米制造领域都有着巨大的应用潜力。 压电纳米定位台可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制、光路控制等。

压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。 压电纳米定位台的工作原理及典型应用。压电纳米机器人应用

纳米定位平台直驱的好处？压电陶瓷微动装置技术应用

材料的可加工性是纳米精度机构设计的另一个限制。首先，所选材料必须可加工成所需的几何形状。例如，我们的大多数挠性运动台都是通过电火花加工来切割的。玻璃陶瓷尽管它们具有许多良好的性能但显然不能用这种加工方式。另一方面，加工成本在产品价格中占主导地位，因为纳米精度机构中的大部分组件尺寸都比较小，因此材料成本的影响并不显着。材料的机械加工性取决于材料的强度、硬度、韧性和导热性等特性。

铝合金是工程结构中常用的材料之一。精密仪器主要利用其导热性好、易于制造（加工成本低）和质量轻的特性。由于其高热膨胀系数，必须小心使用。通常选择这种材料进行热匹配。 压电陶瓷微动装置技术应用

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