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亚微米压电电磁微调电控解决方案 北京微纳光科仪器供应

信息介绍 / Information introduction

双轴压电微扫平台带有一个中孔,用于安装透射镜,是一款面向航天、航空、兵器工业等应用方向产品,采用开环前馈控制,具有结构紧凑、体积小、运动范围大、成本低等特点。主要用于动态稳像领域,在移动平台上,根据陀螺仪反馈回的速度和加速度信息,在拍摄时高速沿移动平台运动方向反向位移,用以平衡运动状态造成的拖影。双轴压电微扫平台由叠堆型压电陶瓷执行器提供驱动力,经过位移放大机构,柔性机构推动透镜进行2X2扫描,由于叠堆型压电陶瓷执行器响应速度快,体积小,出力大刚度高,可以根据控制信号实现毫秒级快速定位响应。 纳米定位平台有哪几方面创新?亚微米压电电磁微调电控解决方案

纳米平移台参数运动范围:纳米定位器的位移。分辨率:平台可以移动的小步长。本底噪声:当平移台处于静态指令时,平移台晃动的振幅。它通常用峰值来测量和指定。它是传感器噪声、驱动器电子噪声和指令噪声等的组合。由于我们使用的硅HR传感器的信噪比非常高,所以我们平台的位置噪声非常有限。重复性:用相同的方法,同一试验材料,在相同的条件下获得的一系列结果之间的一致程度。相同的条件是指同一操作者,同一设备,同一实验室和短暂的时间间隔。线性度误差:实际位置和一阶拟合线(直线)之间的误差。我们的纳米定位产品通过激光干涉仪进行校准,非线性误差被补偿到全行程的0.02%。共振频率:压电台是以共振频率为特征的振荡机械系统。我们给出的谐振频率是纳米定位器上可以看到的极谐振频率。一般来说,系统的谐振频率越高,系统的稳定性就越高,工作带宽就越宽。压电台的谐振频率是由坚固性和质量之比的平方根决定的。 亚微米压电电磁微调电控解决方案纳米定位台底座固定螺丝多大尺寸?

近年来,由于光通信技术飞速发展,光纤连接器作为光通信基本的光源器件,所以对其质量及可靠性有了更严格的要求。为了提高光纤连接及光信号传输的效率,因此光纤端面的检测至关重要。为得到光纤端面的三维参数,通常根据光学干涉来进行测量。其中由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中米罗的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动,分5步位相移动,每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。

压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。 纳米定位平台有哪几方面创建的?

纳米定位平台的高级数字控制至关重要。尤为明显的是,它可根据速度、分辨率和有效负载精确调整系统的性能特征,同时消除不必要的共振频率影响。使用定制的软件算法和陷波滤波器的组合来实现这一性能,后者能够在狭义的频率范围内衰减信号。因此,可以更大限度地减少接近共振频率的频率影响,有效地降低第二频率对动态定位的影响。算法模块工具箱可优化平台性能。速度和加速度控制算法能够使平台比单纯依赖位置控制的设备实现更高级的操作带宽驱动。虽然后者采用PID控制位置,但无法提供足够的精度来控制高速运动。如果需要在移动平台时进行控制以产生精确的波形或斜坡,则需要更多的控制。轨迹控制能够使平台轴快速移动到几纳米以内的精确位置,而不会引起平台共振。通过使用这些控制方法,可以实现超过共振频率50%的带宽,而经典PID控制的带宽只有10%左右。 北京微纳光科仪器(集团)有限公司主要提供《微》《纳》《光》《科》四个版块产品。亚微米高稳定度定位台

纳米定位平台国家标准有哪些?亚微米压电电磁微调电控解决方案

压电纳米位移平台是非中孔式位移台,有一定的承重负载能力,是一款面向半导体制造、光纤制造、激光直写等应用方向的产品,采用闭环负反馈控制,具有结构紧凑、体积小、运动范围大、成本低等特点。主要用于带动负载进行纳米级精度的位移,以实现超精密定位加工的用途。压电纳米位移平台由叠堆型压电陶瓷执行器提供驱动力,经过位移放大机构,柔性机构推动移动端面进行1X1、2X2或3X3高精度位移,由于叠堆型压电陶瓷执行器响应速度快,体积小,出力大刚度高,可以根据控制信号实现毫秒级快速定位响应。 亚微米压电电磁微调电控解决方案

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